[发明专利]一种基于AI视觉用于晶片检测的装置及方法在审

专利信息
申请号: 201911394264.9 申请日: 2019-12-30
公开(公告)号: CN111141754A 公开(公告)日: 2020-05-12
发明(设计)人: 张弛;朱磊;侯晓峰 申请(专利权)人: 上海感图网络科技有限公司
主分类号: G01N21/95 分类号: G01N21/95;G01N21/01
代理公司: 北京智客联合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11700 代理人: 杨群
地址: 201800 上海市嘉定区科福*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 ai 视觉 用于 晶片 检测 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种基于AI视觉用于晶片检测的装置,包括AI视觉识别主机(1)、水平台(4),所述水平台(4)的顶部固定有对称分布的支撑块(3),该支撑块(3)的顶部放置有环形光源设备(10),两个所述支撑块(3)的内侧位于水平台(4)的顶部放置有待检测的晶片(2),所述水平台(4)的顶部位于支撑块(3)的后侧固定有固定杆(8),该固定杆(8)上安装有高分辨率工业相机(7),其特征在于:还包括紧固机构,该紧固机构包括螺纹杆(6)、立杆(9)、轴承(12)、螺母(13)和抵板(14),所述支撑块(3)的顶部固定有立杆(9),该立杆(9)的表面开设有穿孔,该穿孔的内部固定有和螺纹杆(6)螺纹旋合的螺母(13),所述螺纹杆(6)的一端固定有抵板(14),且抵板(14)和螺纹杆(6)的连接处设置有轴承(12)。

2.根据权利要求1所述的一种基于AI视觉用于晶片检测的装置,其特征在于:所述抵板(14)为环形结构,该抵板(14)的端部固定有环形的橡胶垫(11)。

3.根据权利要求1所述的一种基于AI视觉用于晶片检测的装置,其特征在于:所述螺纹杆(6)的另一端固定有手轮(5),该手轮(5)上设置有手柄。

4.根据权利要求1所述的一种基于AI视觉用于晶片检测的装置,其特征在于:所述高分辨率工业相机(7)和AI视觉识别主机(1)通过无线传输连接。

5.根据权利要求1所述的一种基于AI视觉用于晶片检测的装置,其特征在于:所述高分辨率工业相机(7)和固定杆(8)上设置有调节稳固机构,该调节稳固机构包括第一固定环(15)、第二固定耳(16)、第二固定环(17)和第一固定耳(18),所述第一固定环(15)固定于高分辨率工业相机(7)上,该第一固定环(15)的端部固定有对称分布的第一固定耳(18),所述第二固定环(17)的端部固定有对称分布的第二固定耳(16),且第二固定耳(16)和第一固定耳(18)通过螺栓固定。

6.根据权利要求5所述的一种基于AI视觉用于晶片检测的装置,其特征在于:所述第二固定耳(16)和第一固定耳(18)的表面均开设有螺栓孔,该螺栓孔相互贯通。

7.根据权利要求1-6任一项所述的一种基于AI视觉用于晶片检测装置的检测方法,其特征在于:所述检测方法如下:

步骤一:将待检测的晶片(2)放置好,高分辨率工业相机(7)作业,高分辨率工业相机(7)拍摄晶片(2)的高清图片,并将拍摄的图片传入AI视觉识别主机(1)进行缺陷识别;

步骤二:AI视觉识别主机(1)将识别结果通过显示设备显示出来。

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