[发明专利]一种基于AI视觉用于晶片检测的装置及方法在审
申请号: | 201911394264.9 | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN111141754A | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | 张弛;朱磊;侯晓峰 | 申请(专利权)人: | 上海感图网络科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01N21/01 |
代理公司: | 北京智客联合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11700 | 代理人: | 杨群 |
地址: | 201800 上海市嘉定区科福*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 ai 视觉 用于 晶片 检测 装置 方法 | ||
1.一种基于AI视觉用于晶片检测的装置,包括AI视觉识别主机(1)、水平台(4),所述水平台(4)的顶部固定有对称分布的支撑块(3),该支撑块(3)的顶部放置有环形光源设备(10),两个所述支撑块(3)的内侧位于水平台(4)的顶部放置有待检测的晶片(2),所述水平台(4)的顶部位于支撑块(3)的后侧固定有固定杆(8),该固定杆(8)上安装有高分辨率工业相机(7),其特征在于:还包括紧固机构,该紧固机构包括螺纹杆(6)、立杆(9)、轴承(12)、螺母(13)和抵板(14),所述支撑块(3)的顶部固定有立杆(9),该立杆(9)的表面开设有穿孔,该穿孔的内部固定有和螺纹杆(6)螺纹旋合的螺母(13),所述螺纹杆(6)的一端固定有抵板(14),且抵板(14)和螺纹杆(6)的连接处设置有轴承(12)。
2.根据权利要求1所述的一种基于AI视觉用于晶片检测的装置,其特征在于:所述抵板(14)为环形结构,该抵板(14)的端部固定有环形的橡胶垫(11)。
3.根据权利要求1所述的一种基于AI视觉用于晶片检测的装置,其特征在于:所述螺纹杆(6)的另一端固定有手轮(5),该手轮(5)上设置有手柄。
4.根据权利要求1所述的一种基于AI视觉用于晶片检测的装置,其特征在于:所述高分辨率工业相机(7)和AI视觉识别主机(1)通过无线传输连接。
5.根据权利要求1所述的一种基于AI视觉用于晶片检测的装置,其特征在于:所述高分辨率工业相机(7)和固定杆(8)上设置有调节稳固机构,该调节稳固机构包括第一固定环(15)、第二固定耳(16)、第二固定环(17)和第一固定耳(18),所述第一固定环(15)固定于高分辨率工业相机(7)上,该第一固定环(15)的端部固定有对称分布的第一固定耳(18),所述第二固定环(17)的端部固定有对称分布的第二固定耳(16),且第二固定耳(16)和第一固定耳(18)通过螺栓固定。
6.根据权利要求5所述的一种基于AI视觉用于晶片检测的装置,其特征在于:所述第二固定耳(16)和第一固定耳(18)的表面均开设有螺栓孔,该螺栓孔相互贯通。
7.根据权利要求1-6任一项所述的一种基于AI视觉用于晶片检测装置的检测方法,其特征在于:所述检测方法如下:
步骤一:将待检测的晶片(2)放置好,高分辨率工业相机(7)作业,高分辨率工业相机(7)拍摄晶片(2)的高清图片,并将拍摄的图片传入AI视觉识别主机(1)进行缺陷识别;
步骤二:AI视觉识别主机(1)将识别结果通过显示设备显示出来。
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