[发明专利]一种硅片加工用转运装置有效

专利信息
申请号: 201911394305.4 申请日: 2019-12-30
公开(公告)号: CN111003039B 公开(公告)日: 2021-12-17
发明(设计)人: 杨兆安 申请(专利权)人: 嘉兴市耐思威精密机械有限公司
主分类号: B62B3/00 分类号: B62B3/00;B62B3/04;B62B5/00
代理公司: 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 代理人: 饶富春
地址: 314000 浙江省嘉兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 工用 转运 装置
【权利要求书】:

1.一种硅片加工用转运装置,包括底座(3),其特征在于,所述底座(3)顶部外壁安装有等距离分布的存放壳体(9),且存放壳体(9)两侧外壁均安装有固定块(16),两个所述固定块(16)相对的一侧外壁转动连接有同一个双向丝杆(15),所述双向丝杆(15)圆周外壁两侧均通过螺纹转动连接有第一滑动块,且第一滑动块两端外壁均安装有储存壳体(2),储存壳体(2)底部内壁安装有橡胶垫(21),所述橡胶垫(21)顶部外壁安装有等距离分布的隔板(1),且相邻两个隔板(1)相对的一侧外壁顶部均铰接有挤压板(7),挤压板(7)一侧外壁安装有伸缩弹簧(20),伸缩弹簧(20)另一侧外壁通过螺栓与挤压板(7)一侧外壁固定连接,所述双向丝杆(15)一侧外壁安装有第一连接柱(17),且第一连接柱(17)一侧外壁开设有十字槽;

所述底座(3)底部外壁安装有电动伸缩杆(5),且电动伸缩杆(5)一侧外壁安装有支撑柱(6);

所述支撑柱(6)一侧外壁开设有矩形槽,且矩形槽顶部和底部内壁转动连接有同一个螺纹杆(10),螺纹杆(10)圆周外壁通过螺纹转动连接有第二滑动块(11);

所述第二滑动块(11)一侧外壁安装有电动机(12),且电动机(12)输出轴一侧外壁安装有第二连接柱(14),第二连接柱(14)一侧外壁开设有圆形槽,圆形槽内壁滑动连接有与十字槽相匹配的十字杆(13);

所述十字杆(13)一侧外壁安装有伸缩杆(19),且伸缩杆(19)另一侧外壁通过螺栓与圆形槽一侧内壁固定连接;所述伸缩杆(19)圆周外壁套接有连接弹簧(18);

所述支撑柱(6)顶部外壁安装有伺服电机(8),且伺服电机(8)输出轴通过螺栓与螺纹杆(10)顶部外壁固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅片加工用转运装置,其特征在于,所述底座(3)底部外壁安装有等距离分布的车轮(4),且底座(3)一端外壁安装有推架(25)。

3.根据权利要求1所述的一种硅片加工用转运装置,其特征在于,所述伺服电机(8)、电动机(12)和电动伸缩杆(5)均通过导线连接有开关,且开关通过导线连接有电源。

4.根据权利要求1所述的一种硅片加工用转运装置,其特征在于,所述存放壳体(9)一端外壁安装有标签架(23),且标签架(23)底部内壁安装有等距离分布的挡块(24)。

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