[发明专利]一种硅片加工用转运装置有效
申请号: | 201911394305.4 | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN111003039B | 公开(公告)日: | 2021-12-17 |
发明(设计)人: | 杨兆安 | 申请(专利权)人: | 嘉兴市耐思威精密机械有限公司 |
主分类号: | B62B3/00 | 分类号: | B62B3/00;B62B3/04;B62B5/00 |
代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 饶富春 |
地址: | 314000 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 工用 转运 装置 | ||
1.一种硅片加工用转运装置,包括底座(3),其特征在于,所述底座(3)顶部外壁安装有等距离分布的存放壳体(9),且存放壳体(9)两侧外壁均安装有固定块(16),两个所述固定块(16)相对的一侧外壁转动连接有同一个双向丝杆(15),所述双向丝杆(15)圆周外壁两侧均通过螺纹转动连接有第一滑动块,且第一滑动块两端外壁均安装有储存壳体(2),储存壳体(2)底部内壁安装有橡胶垫(21),所述橡胶垫(21)顶部外壁安装有等距离分布的隔板(1),且相邻两个隔板(1)相对的一侧外壁顶部均铰接有挤压板(7),挤压板(7)一侧外壁安装有伸缩弹簧(20),伸缩弹簧(20)另一侧外壁通过螺栓与挤压板(7)一侧外壁固定连接,所述双向丝杆(15)一侧外壁安装有第一连接柱(17),且第一连接柱(17)一侧外壁开设有十字槽;
所述底座(3)底部外壁安装有电动伸缩杆(5),且电动伸缩杆(5)一侧外壁安装有支撑柱(6);
所述支撑柱(6)一侧外壁开设有矩形槽,且矩形槽顶部和底部内壁转动连接有同一个螺纹杆(10),螺纹杆(10)圆周外壁通过螺纹转动连接有第二滑动块(11);
所述第二滑动块(11)一侧外壁安装有电动机(12),且电动机(12)输出轴一侧外壁安装有第二连接柱(14),第二连接柱(14)一侧外壁开设有圆形槽,圆形槽内壁滑动连接有与十字槽相匹配的十字杆(13);
所述十字杆(13)一侧外壁安装有伸缩杆(19),且伸缩杆(19)另一侧外壁通过螺栓与圆形槽一侧内壁固定连接;所述伸缩杆(19)圆周外壁套接有连接弹簧(18);
所述支撑柱(6)顶部外壁安装有伺服电机(8),且伺服电机(8)输出轴通过螺栓与螺纹杆(10)顶部外壁固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅片加工用转运装置,其特征在于,所述底座(3)底部外壁安装有等距离分布的车轮(4),且底座(3)一端外壁安装有推架(25)。
3.根据权利要求1所述的一种硅片加工用转运装置,其特征在于,所述伺服电机(8)、电动机(12)和电动伸缩杆(5)均通过导线连接有开关,且开关通过导线连接有电源。
4.根据权利要求1所述的一种硅片加工用转运装置,其特征在于,所述存放壳体(9)一端外壁安装有标签架(23),且标签架(23)底部内壁安装有等距离分布的挡块(24)。
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