[发明专利]一种硅片加工用转运装置有效
申请号: | 201911394305.4 | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN111003039B | 公开(公告)日: | 2021-12-17 |
发明(设计)人: | 杨兆安 | 申请(专利权)人: | 嘉兴市耐思威精密机械有限公司 |
主分类号: | B62B3/00 | 分类号: | B62B3/00;B62B3/04;B62B5/00 |
代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 饶富春 |
地址: | 314000 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 工用 转运 装置 | ||
本发明公开了一种硅片加工用转运装置,包括底座,所述底座顶部外壁安装有等距离分布的存放壳体,且存放壳体两侧外壁均安装有固定块,两个所述固定块相对的一侧外壁转动连接有同一个双向丝杆,所述双向丝杆圆周外壁两侧均通过螺纹转动连接有第一滑动块,且第一滑动块两端外壁均安装有储存壳体,储存壳体底部内壁安装有橡胶垫,所述橡胶垫顶部外壁安装有等距离分布的隔板,且相邻两个隔板相对的一侧外壁顶部均铰接有挤压板。本发明中,通过设置有双向丝杆、第一滑动块、固定块和隔板,能够快速将储存壳体移动,方便将其进行存放,通过将硅片插入挤压板之间,通过伸缩弹簧将其挤压,提高了固定速率,且避免了硅片移动过程中发生移动。
技术领域
本发明涉及硅片加工技术领域,尤其涉及一种硅片加工用转运装置。
背景技术
在米粒大的硅片上,已能集成16万个晶体管,这是科学技术进步的又一个里程碑。地壳中含量达25.8%的硅元素,为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一,对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言,储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一。
随着半导体行业的迅速发展,半导体硅片产能日趋扩大,在硅片加工企业,为了保证硅片产品出库在运输途中的安全,需要将一定数量的硅片用薄膜包装后装箱。在硅片检测工序到薄膜包装工序之间转运,当前都是先将硅片按一定数量插上标识纸后分成若干单元装在泡沫盒,泡沫盒放入纸箱中封好,然后转运到薄膜包装工序,但是这样操作极大的增加了工作人员工作效率,不便于人们的使用,因此亟需一种硅片加工用转运装置来解决上述问题。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种硅片加工用转运装置,可以有效的解决背景技术提出来的问题。
为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:
一种硅片加工用转运装置,包括底座,所述底座顶部外壁安装有等距离分布的存放壳体,且存放壳体两侧外壁均安装有固定块,两个所述固定块相对的一侧外壁转动连接有同一个双向丝杆,所述双向丝杆圆周外壁两侧均通过螺纹转动连接有第一滑动块,且第一滑动块两端外壁均安装有储存壳体,储存壳体底部内壁安装有橡胶垫,所述橡胶垫顶部外壁安装有等距离分布的隔板,且相邻两个隔板相对的一侧外壁顶部均铰接有挤压板,挤压板一侧外壁安装有伸缩弹簧,伸缩弹簧另一侧外壁通过螺栓与挤压板一侧外壁固定连接,所述双向丝杆一侧外壁安装有第一连接柱,且第一连接柱一侧外壁开设有十字槽。
优选地,所述底座底部外壁安装有等距离分布的车轮,且底座一端外壁安装有推架。
优选地,所述底座底部外壁安装有电动伸缩杆,且电动伸缩杆一侧外壁安装有支撑柱。
优选地,所述支撑柱一侧外壁开设有矩形槽,且矩形槽顶部和底部内壁转动连接有同一个螺纹杆,螺纹杆圆周外壁通过螺纹转动连接有第二滑动块。
优选地,所述第二滑动块一侧外壁安装有电动机,且电动机输出轴一侧外壁安装有第二连接柱,第二连接柱一侧外壁开设有圆形槽,圆形槽内壁滑动连接有与十字槽相匹配的十字杆。
优选地,所述十字杆一侧外壁安装有伸缩杆,且伸缩杆另一侧外壁通过螺栓与圆形槽一侧内壁固定连接。
优选地,所述伸缩杆圆周外壁套接有连接弹簧。
优选地,所述支撑柱顶部外壁安装有伺服电机,且伺服电机输出轴通过螺栓与螺纹杆顶部外壁固定连接。
优选地,所述伺服电机、电动机和电动伸缩杆均通过导线连接有开关,且开关通过导线连接有电源。
优选地,所述存放壳体一端外壁安装有标签架,且标签架底部内壁安装有等距离分布的挡块。
与现有技术相比,本发明的有益效果为:
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