[发明专利]锡化合物、用于形成含锡层的锡前体化合物以及使用其形成薄层的方法

权利要求书

1.一种由式1表示的锡化合物：

[式1]

其中R₁、R₂、R₃、R₄、R₅、R₆和R₇各自独立地是氢、具有1至4个碳原子的直链烷基或具有3或4个碳原子的支链烷基。

2.根据权利要求1所述的锡化合物，其中：

R₁和R₇相同，并且

R₁和R₇是氢、甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基或异丁基。

3.根据权利要求1所述的锡化合物，其中：

R₂和R₆相同，并且

R₂和R₆是氢、甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基或异丁基。

4.根据权利要求1所述的锡化合物，其中：

R₃和R₅相同，并且

R₃和R₅是氢、甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基或异丁基。

5.根据权利要求1所述的锡化合物，其中：

R₂和R₃相同，并且

R₂和R₃是氢、甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基或异丁基。

6.根据权利要求1所述的锡化合物，其中：

R₅和R₆相同，并且

R₅和R₆是氢、甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基或异丁基。

7.根据权利要求1所述的锡化合物，其中：

R₂、R₃、R₅和R₆相同，并且

R₂、R₃、R₅和R₆是氢、甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基或异丁基。

8.根据权利要求1所述的锡化合物，其中所述锡化合物在1大气压和20℃是液态。

9.一种用于形成含锡层的锡前体化合物，所述化合物由式1表示：

[式1]

其中R₁、R₂、R₃、R₄、R₅、R₆和R₇各自独立地是氢、具有1至4个碳原子的直链烷基或具有3或4个碳原子的支链烷基。

10.根据权利要求9所述的锡前体化合物，其中：

R₁和R₇相同，并且

R₁和R₇是氢、甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基或异丁基。

11.根据权利要求9所述的锡前体化合物，其中：

R₂、R₃、R₅和R₆中的至少两个相同，并且

R₂、R₃、R₅和R₆中的所述至少两个是氢、甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基或异丁基。