[发明专利]一种化学镀铜前处理方法在审
| 申请号： | 201911396512.3 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111155074A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 叶钢华;吴永强 | 申请（专利权）人： | 惠州市永隆电路有限公司 |
| 主分类号： | C23C18/18 | 分类号： | C23C18/18;C23F1/34;H05K3/06 |
| 代理公司： | 惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙) 44349 | 代理人： | 陈文福 |
| 地址： | 516000*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化学 镀铜 处理 方法 | ||
1.一种化学镀铜前处理方法，其特征在于，包括以下方法：利用沉铜微蚀液从铜基体表面上蚀刻掉0.5pm-3pm的铜；所述沉铜微蚀液中，每升沉铜液中含有硫酸铜10-15g，乙二胺四乙酸二钠盐18-36g，四羟丙基乙二腔22-35g，氢氧化钠16-27g，联吡啶0.05-0.18g，邻菲罗啉0.07-0.16g，亚铁氰化钾0.05-0.14g，甲醛7-18g，聚乙二醇4000 0.01g，余量为水。
2.根据权利要求1所述的化学镀铜前处理方法，其特征在于，所述沉铜微蚀液中，每升沉铜液中含有硫酸铜11-13g，乙二胺四乙酸二钠盐20-32g，四羟丙基乙二腔25-32g，氢氧化钠18-23g，联吡啶0.08-0.13g，邻菲罗啉0.08-0.14g，亚铁氰化钾0.07-0.11g，甲醛9-12g，聚乙二醇4000 0.01g，余量为水。
3.根据权利要求1所述的化学镀铜前处理方法，其特征在于，所述沉铜微蚀液中，每升沉铜液中含有硫酸铜12g，乙二胺四乙酸二钠盐30g，四羟丙基乙二腔30g，氢氧化钠20g，联吡啶0.1g，邻菲罗啉0.1g，亚铁氰化钾0.1g，甲醛10g，聚乙二醇4000为0.01g，余量为水。
4.根据权利要求1所述的化学镀铜前处理方法，其特征在于，利用沉铜微蚀液从铜基体表面上蚀刻掉1pm-2pm的铜。
5.根据权利要求4所述的化学镀铜前处理方法，其特征在于，所述沉铜微蚀液中，每升沉铜液中含有硫酸铜12g，乙二胺四乙酸二钠盐30g，四羟丙基乙二腔30g，氢氧化钠20g，联吡啶0.1g，邻菲罗啉0.1g，亚铁氰化钾0.1g，甲醛10g，聚乙二醇4000为0.01g，余量为水。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
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