[发明专利]电容式麦克风

权利要求书

1.一种电容式麦克风，其特征在于，包括：

定支撑，所述定支撑开设有收容部；

振动部，所述振动部悬置并支撑于所述收容部内；以及

连接在所述振动部与所述定支撑之间并支撑所述振动部的弹性连接部；

所述定支撑包括环绕所述收容部的固定部和由所述固定部的边缘朝所述振动部延伸的定电极，所述振动部包括与所述固定部间隔设置的支撑部和由所述支撑部朝所述固定部延伸的动电极，所述定电极和所述动电极均为梳齿状排布，所述定电极与动电极在空间上分离并且所述定电极与所述动电极相互交叉形成电容结构；

所述弹性连接部一侧与所述固定部相连，远离所述固定部的另一侧与所述支撑部相连；所述弹性连接部分别设置于所述电容结构的相对两侧，且所述支撑部、所述固定部及位于所述电容结构相对两侧的所述弹性连接部围成密封腔，所述定电极和所述动电极位于所述密封腔内。

2.根据权利要求1所述的电容式麦克风，其特征在于：每一所述弹性连接部包括与所述电容结构相对且间隔设置的薄膜、自所述薄膜靠近所述固定部的一侧朝所述固定部弯折延伸的第一支撑壁以及自所述薄膜靠近所述支撑部的一侧朝所述支撑部弯折延伸的第二支撑壁。

3.根据权利要求2所述的电容式麦克风，其特征在于：所述薄膜开设条形槽，所述条形槽的延伸方向与所述第一支撑壁和所述第二支撑壁平行。

4.根据权利要求3所述的电容式麦克风，其特征在于：所述条形槽在垂直于所述延伸方向的截面上的截面形状为方形、三角函数形、三角形或梯形。

5.根据权利要求2所述的电容式麦克风，其特征在于：所述薄膜上设置有应力层，所述应力层的应力值为10MPa～1500MPa。

6.根据权利要求5所述的电容式麦克风，其特征在于：所述应力层的厚度小于等于20微米。

7.根据权利要求1所述的电容式麦克风，其特征在于：所述支撑部上开设有通气孔。

8.根据权利要求1所述的电容式麦克风，其特征在于：所述支撑部沿所述振动部的振动方向的厚度小于或等于所述动电极沿所述振动方向的厚度。

9.根据权利要求1所述的电容式麦克风，其特征在于：所述支撑部上设有加强筋。

10.根据权利要求1所述的电容式麦克风，其特征在于：所述固定部呈环形并绕设于所述支撑部外周，所述固定部包括相对设置的上侧面与下侧面以及连接所述上侧面与下侧面的内侧面，所述定电极自所述固定部的内侧面延伸。

11.根据权利要求1所述的电容式麦克风，其特征在于：所述固定部的形状和所述支撑部的形状均关于中心对称。