[发明专利]电容式麦克风

说明书

本发明提供了电容式麦克风，包括定支撑、振动部和连接在振动部与定支撑之间并支撑振动部的弹性连接部；定支撑开设有收容部；振动部悬置并支撑于收容部内；定支撑包括环绕收容部的固定部和定电极，振动部包括支撑部和动电极，定电极和动电极均为梳齿状排布，定电极与动电极在空间上分离并相互交叉形成电容结构；弹性连接部分别设置于电容结构的相对两侧，弹性连接部一侧与固定部相连，远离固定部的另一侧与支撑部相连；且支撑部、固定部及位于电容结构相对两侧的弹性连接部围成密封腔，定电极和动电极位于密封腔内。本发明通过至少将定电极和动电极间的相对运动间隙密封在低压区(小于大气压)，实现相对运动的阻尼的大幅降低，达到提高信躁比(SNR)的目的。

【技术领域】

本发明涉及电容式声电转换领域。

【背景技术】

典型的电容式麦克风核心结构是平板电容器，主要包括背板和振膜两部分，其中振膜在外界声压信号下发生振动，通过检测振膜背板间变化的电容值来间接测量声压变化。随着电容式麦克风的使用及产品不断的更新换代，对其关键性能的需求不断提高，尤其是信噪比指标(SNR)。

决定SNR的主要因素是麦克风结构中的空气阻尼。针对平板电容器结构，其空气阻尼形式主要是压模阻尼，压模阻尼的降低可通过背板上制备通孔阵列实现。已有的设计中通孔占比最高已达70％及以上，在该类设计中已经做到了极致，所以为了进一步提高SNR指标研究已转向了梳齿电容结构及真空封装等技术。

梳齿型电容式麦克风典型设计包括定支撑和振动部，定支撑包括固定部和与固定部相连的定梳齿，振动部包括支撑部和与支撑部相连的动梳齿，定梳齿与动梳齿在空间上分离且相互交叉，梳齿间的相对运动方式是滑移，而滑膜阻尼量级上小于压模阻尼，为高信噪比的电容式麦克风设计提供了可能。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种电容式麦克风，旨在提高信噪比。

本发明的技术方案如下：

一种电容式麦克风，包括：

定支撑，所述定支撑开设有收容部；

振动部，所述振动部悬置并支撑于所述收容部内；以及

连接在所述振动部与所述定支撑之间并支撑所述振动部的弹性连接部；

所述定支撑包括环绕所述收容部的固定部和由所述固定部的边缘朝所述振动部延伸的定电极，所述振动部包括与所述固定部间隔设置的支撑部和由所述支撑部朝所述固定部延伸的动电极，所述定电极和所述动电极均为梳齿状排布，所述定电极与动电极在空间上分离并且所述定电极与所述动电极相互交叉形成电容结构；

所述弹性连接部一侧与所述固定部相连，远离所述固定部的另一侧与所述支撑部相连；所述弹性连接部分别设置于所述电容结构的相对两侧，且所述支撑部、所述固定部及位于所述电容结构相对两侧的所述弹性连接部围成密封腔，所述定电极和所述动电极位于所述密封腔内。

进一步地，每一所述弹性连接部包括与所述电容结构相对且间隔设置的薄膜、自所述薄膜靠近所述固定部的一侧朝所述固定部弯折延伸的第一支撑壁以及自所述薄膜靠近所述支撑部的一侧朝所述支撑部弯折延伸的第二支撑壁。

进一步地，所述薄膜开设条形槽，所述条形槽的延伸方向与所述第一支撑壁和所述第二支撑壁平行。

进一步地，条形槽在垂直于所述延伸方向的截面上的截面形状为方形、三角函数形、三角形或梯形。

进一步地，薄膜上设置有应力层，所述应力层的应力值为10MPa～1500MPa。

进一步地，所述应力层的厚度小于等于20微米。

进一步地，所述支撑部上开设有通气孔。

进一步地，所述支撑部贴设有支撑筋加强筋。