[发明专利]一种适用于集成电路的回流焊清洗方法有效

专利信息
申请号: 201911401918.6 申请日: 2019-12-31
公开(公告)号: CN111180312B 公开(公告)日: 2023-08-11
发明(设计)人: 张超超;刘思奇;蔡景洋;熊涛;李阳;阳永衡;商登辉;董晶;房迪;李洪秀 申请(专利权)人: 贵州振华风光半导体股份有限公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;H01L21/60;B08B1/00;B08B3/04;B08B3/08;B08B3/12;B23K1/008
代理公司: 贵阳中工知识产权代理事务所 52106 代理人: 刘安宁
地址: 550018 贵*** 国省代码: 贵州;52
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摘要:
搜索关键词: 一种 适用于 集成电路 回流 清洗 方法
【说明书】:

一种适用于集成电路的回流焊清洗方法,包括首先将集成电路中混合电路和模块需焊膏回流焊的芯片、电子元器件和陶瓷基板,分为两部分回流焊;接着对第二部分进行清洗将电子元器件和陶瓷基板部分回流焊焊接于封装腔体中,然后将封装腔体置于盛有清洗剂的容器中进行超声清洗;清洗完成后又置于盛有酒精的容器中进行超声清洗;然后将封装腔体置于去离子水下进行防静电布冲洗擦拭;清洗干净后置于80℃的烘箱中烘干备用;之后对第一部分进行清洗,方法同第二部分。本方法既达到了回流焊清洗后干净的目的,也避免了因清洗器件表面状态不同而造成的清洗损伤,适用于需要回流焊清洗的集成电路封装,也可应用于需要回流焊清洗的其它器件。

技术领域

本发明涉及集成电路的制造,具体来说,涉及用于集成电路的回流焊清洗技术。

背景技术

在集成电路封装中,尤其是在模块和混合电路的组装过程,除了进行相应的芯片粘接外,还需要进行相应的电子元器件如电阻、电容和基板粘接。这类产品往往需要较高的粘接强度与高导电导热性能,以满足其在使用过程的低功耗和稳定性能,因此常常采用焊膏回流焊来焊接模块和混合电路中的芯片、电子元器件、基板,以达到较高的粘接强度与高导电导热性能。然而,焊膏中含有以松香为主的助焊剂,在采用焊膏回流焊过程中不能避免多余的松香从焊膏中分离出来,聚集在粘接后的芯片、电子元器件、陶瓷基板的周边,或者飞溅在其表面上,造成回流焊工艺的沾污,因此需要对回流焊后的产品进行清洗。而这种清洗过程主要涉及松香与其它多余物的清洗。为了将集成电路封装腔体中的松香与其它多余物清洗干净,往往是在回流焊完成后将芯片、电子元件、基板同时进行常规的清洗。方法主要是采用清洗剂超声清洗、酒精超声清洗、去离子水清洗等3步清洗法。在整个集成电路封装腔体中,芯片易碎极易划伤和腐蚀,电子元器件和基板耐腐蚀不易划伤,然而在传统的回流焊清洗工艺中很少注意到这点,更少去调节相应的清洗参数。因此,传统清洗的过程往往会造成以下问题:①在基板和电子元件清洗干净的同时,芯片因超声太久而造成键合点腐蚀;②芯片清洗干净的同时,基板和电子元件还有待清洗的多余物;③部分松香和有机物在较高频率的超声环境下易产生络合物,与电子元件融为一体,极难清洗掉;以上的任何一个缺陷都足以使得整款集成电路产品直接报废。

经检索,涉及集成电路回流焊的专利申请件仅有2009100385978号《水基回流焊炉膛清洗剂》和2018113231356号《一种用于钎焊集成电路板的回流焊炉》,均与集成电路的回流焊清洗基本无关。

发明内容

本发明旨在提供一种适用于集成电路的回流焊清洗方法,以确保在清洗电子元器件和陶瓷基板的同时不影响芯片的清洗,满足集成电路中芯片和电子元器件的无损清洗的要求。

发明人提供的适用于集成电路的回流焊清洗方法,包括以下步骤:

1. 分类:

将集成电路中混合电路和模块需焊膏回流焊的芯片、电子元器件和陶瓷基板,分为两批回流焊;其中表面脆弱,不耐腐蚀的芯片分为第一部分,而耐腐蚀、不易划伤电子元器件和陶瓷基板分为第二部分;

2. 对第二部分进行清洗:

将电子元器件和陶瓷基板这一批回流焊焊接于封装腔体中,然后将封装腔体置于盛有清洗剂的容器中进行超声清洗;清洗完成后又置于盛有酒精的容器中进行超声清洗;然后将封装腔体置于去离子水下进行防静电布冲洗擦拭;清洗干净后置于80℃的烘箱中烘干备用;

3. 第二部分的封装:

将上述已经完成电子元器件和基板焊接烘干备用的集成电路封装腔体进行芯片回流焊于腔体内;

4. 对第一部分进行清洗:

将完成芯片回流焊的封装腔体置于盛有清洗剂的容器中进行超声清洗,洗去松香和多余物;清洗完成后又置于盛有酒精的容器中进行超声清洗;然后将封装腔体置于去离子水下进行防静电布冲洗擦拭;清洗干净后置于80℃的烘箱中烘干,备用;

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