[发明专利]一种排气装置在审
| 申请号： | 201911405138.9 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN113124200A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 王鹤;韩阳;刘文博;陶晓峰;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | F16K11/085 | 分类号： | F16K11/085;F16K27/06;B08B9/023 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 刘星 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 排气装置 | ||
1.一种排气装置，其特征在于，包括：
外管，所述外管的侧壁设有多个排气口；
内管，容纳在所述外管内，所述内管的一端开口，另一端封闭，所述内管的侧壁设有至少一通孔；
致动器，与所述内管封闭的一端连接以驱动所述内管在所述外管内旋转以使所述内管的至少一所述通孔对上所述外管的一所述排气口以排出一种气体，与此同时，所述外管的其他所述排气口由所述内管的侧壁封闭；
至少一冲洗液入口，设置于所述外管的侧壁，并面对所述内管的至少一部分外壁。
2.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于：所述内管的外壁设有至少一凹陷部以缓冲冲洗液，所述冲洗液入口对准所述凹陷部。
3.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于：至少一所述冲洗液入口位于所述外管的中部以上。
4.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于：至少一所述冲洗液入口位于所述外管的中部以上，且至少一所述冲洗液入口位于所述外管的中部以下。
5.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于：所述排气装置包括至少一对关于内管中心轴线呈镜像对称设置的所述冲洗液入口。
6.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于：所述排气装置包括多个所述冲洗液入口，每一所述冲洗液入口分别与一冲洗液输送子管连接，所述排气装置还包括至少一冲洗液输送总管，所述冲洗液输送总管与至少一所述冲洗液收送子管连接。
7.根据权利要求6所述的排气装置，其特征在于：每一所述冲洗液输送总管分别设有一冲洗液输入口。
8.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于：多个所述排气口分别与不同的排气管连接。
9.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于：所述排气装置还包括进气管，所述外管连接于所述进气管，且所述内管开口的一端与所述进气管连通。
10.根据权利要求9所述的排气装置，其特征在于：所述进气管的底部设有排液口，所述外管的内壁与所述内管的外壁之间的间隙与所述进气管连通以使冲洗液残液流入所述进气管并通过所述排液口排出。
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