[发明专利]蒸发源的冷却装置及蒸发源

权利要求书

1.一种蒸发源的冷却装置，其特征在于，包括：

冷却箱(1)，所述冷却箱(1)设置有多个彼此独立的冷却槽(14)，所述冷却槽(14)用于装配坩埚；

冷却组件(2)，所述冷却箱(1)的各个内侧壁上均可拆卸连接有所述冷却组件(2)。

2.根据权利要求1所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，所述冷却箱(1)的各个内侧壁设置有多个定位槽(11)和/或定位凸起(12)；

所述冷却组件(2)包括多个冷却板(21)，所述冷却板(21)设置有多个配合槽(211)和/或多个配合凸起(212)；

所述定位槽(11)与所述配合凸起(212)对应配合；

所述定位凸起(12)与所述配合槽(211)对应配合。

3.根据权利要求2所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，所述冷却板(21)的顶部和顶部一者凹陷形成进口(216a)，另一者凹陷形成出口(216b)；

其中，所述冷却板(21)的内部设置有冷却通道，所述进口(216a)通过所述冷却通道与所述出口(216b)连通。

4.根据权利要求2所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，所述冷却板(21)包括：

第一板(213)体；

第二板(215)体，所述第一板(213)体与所述第二板(215)体可拆卸连接；

冷却管(216)，所述第一板(213)体与所述第二板(215)体之间设置有所述冷却管(216)，且所述冷却管(216)设置有进口(216a)与出口(216b)。

5.根据权利要求4所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，所述第一板(213)体的贴合面和所述第二板(215)体的贴合面至少一者设置有容纳槽(213b)；

所述冷却管(216)设置于所述容纳槽(213b)内。

6.根据权利要求4所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，所述第一板(213)体的贴合面和所述第二板(215)体的贴合面一者设置有环形连接槽(213a)，另一者设置有环形凸起部(215a)；

所述环形连接槽(213a)和所述环形凸起部(215a)对应配合。

7.根据权利要求2所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，所述冷却组件(2)还包括固定件(22)；

所述固定件(22)通过螺钉连接于所述冷却箱(1)的上端面，其中，所述冷却板(21)通过所述固定件(22)连接于所述冷却箱(1)的内侧壁上。

8.根据权利要求7所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，所述固定件(22)包括第一固定臂(221)、第二固定臂(222)和连接臂(223)，所述第一固定臂(221)和所述第二固定臂(222)分别连接于所述连接臂(223)的两端；

所述冷却板(21)背离所述冷却箱(1)的内侧壁的端面设置有第一槽体(214)，所述冷却箱(1)的上端面设置有第二槽体(13)；

所述第一固定臂(221)或者所述第二固定臂(222)与所述第一槽体(214)限位配合，所述连接臂(223)与所述第二槽体(13)限位配合。

9.根据权利要求1所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，所述冷却箱(1)的外表面设置有隔热层。

10.一种蒸发源，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的蒸发源的冷却装置。