[发明专利]蒸发源的冷却装置及蒸发源

说明书

本发明涉及显示设备技术领域，尤其涉及一种蒸发源的冷却装置及蒸发源。该蒸发源的冷却装置包括冷却箱，冷却箱设置有多个彼此独立的冷却槽，冷却槽用于装配坩埚；冷却组件，冷却箱的各个内侧壁上均可拆卸连接有冷却组件。本发明所提供的蒸发源的冷却装置及蒸发源的冷却部件可以单独拆卸，进而能够方便更换。

技术领域

本发明涉及显示设备技术领域，尤其涉及一种蒸发源的冷却装置及蒸 发源。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，即有机电致发光器件)显示技术 日益完善，其市场化普及成为了趋势。构成有机电致发光器件的各膜层一 般通过真空蒸发镀膜形成，真空蒸发镀膜的基本原理是将镀膜材料放置于 蒸镀装置的蒸发源中加热蒸发，形成的镀膜材料的气体分子或原子沉积到 待镀膜基板上形成膜层。

现有的蒸镀装置的蒸发源虽然能够进行有机电致发光器件的制作，但 是，为了满足有机电致发光器件(OLED)的高分辨率显示及大尺寸设计等需 求，需要同时对多种有机材料进行蒸镀，从而提高应用于大面积玻璃的镀 膜工艺的效率，但是现有蒸发源的冷却部件与冷却箱为一体结构，当冷却 部件出现损坏时，需更换整个冷却设备，提高了成本。

发明内容

本发明提供了一种蒸发源的冷却装置及蒸发源，该蒸发源的冷却装置 及蒸发源的冷却部件可以单独拆卸，进而能够方便更换。

本发明提供了一种蒸发源的冷却装置，包括：

冷却箱，所述冷却箱设置有多个彼此独立的冷却槽，所述冷却槽用于 装配坩埚；

冷却组件，所述冷却箱的各个内侧壁上均可拆卸连接有所述冷却组 件。

进一步的，所述冷却箱的各个内侧壁设置有多个定位槽和/或定位凸 起；

所述冷却组件包括多个冷却板，所述冷却板设置有多个配合槽和/或多 个配合凸起；

所述定位槽与所述配合凸起对应配合；

所述定位凸起与所述配合槽对应配合。

进一步的，所述冷却板的顶部和顶部一者凹陷形成进口，另一者凹陷 形成出口；

其中，所述冷却板的内部设置有冷却通道，所述进口通过所述冷却通 道与所述出口连通。

进一步的，所述冷却板包括：

第一板体；

第二板体，所述第一板体与所述第二板体可拆卸连接；

冷却管，所述第一板体与所述第二板体之间设置有所述冷却管，且所 述冷却管设置有进口与出口。

进一步的，所述第一板体的贴合面和所述第二板体的贴合面至少一者 设置有容纳槽；

所述冷却管设置于所述容纳槽内。

进一步的，所述第一板体的贴合面和所述第二板体的贴合面一者设置 有环形连接槽，另一者设置有所述环形凸起部；

所述环形连接槽和所述环形凸起部对应配合。

进一步的，所述冷却组件还包括固定件；

所述固定件通过螺钉连接于所述冷却箱的上端面，其中，所述冷却板 通过所述固定件连接于所述冷却箱的内侧壁上。

进一步的，所述固定件包括第一固定臂、第二固定臂和连接臂，所述 第一固定臂和所述第二固定臂分别连接于所述连接臂的两端；

所述冷却板背离所述冷却箱的内侧壁的端面设置有第一槽体，所述冷 却箱的上端面设置有第二槽体；

所述第一固定臂或者所述第二固定臂与所述第一槽体限位配合，所述 连接臂与所述第二槽体限位配合。