[发明专利]金属掩模用披覆板材以及金属掩模

权利要求书

1.一种金属掩模用披覆板材，在沿厚度方向切断的截面视时，包括：基材层，包含以30质量％以上且50质量％以下的范围含有镍及钴中的一种以上的铁基合金；以及第一载体层，压接于所述基材层的其中一侧，

所述基材层及所述第一载体层能够由同质的蚀刻液进行蚀刻，且所述基材层相较于所述第一载体层而对所述蚀刻液更为高耐蚀。

2.根据权利要求1所述的金属掩模用披覆板材，其中在同等的环境下使用同质的蚀刻液进行蚀刻，将所述基材层的腐蚀减量设为M_b，将所述第一载体层的腐蚀减量设为M_c1时，

所述基材层与所述第一载体层满足M_b/M_c1≤0.9的关系。

3.一种金属掩模用披覆板材，在沿厚度方向切断的截面视时，包括：基材层，包含以30质量％以上且50质量％以下的范围含有镍及钴中的一种以上的铁基合金；第一载体层，压接于所述基材层的其中一侧；以及第二载体层，压接于所述基材层的另一侧，

所述基材层、所述第一载体层及所述第二载体层能够由同质的蚀刻液进行蚀刻，且所述基材层相较于所述第一载体层及所述第二载体层而对所述蚀刻液更为高耐蚀。

4.根据权利要求3所述的金属掩模用披覆板材，其中在同等的环境下使用同质的蚀刻液进行蚀刻，将所述基材层的腐蚀减量设为M_b，将所述第一载体层的腐蚀减量设为M_c1，将所述第二载体层的腐蚀减量设为M_c2时，

所述基材层、所述第一载体层及所述第二载体层满足M_b/M_c1≤0.9及M_b/M_c2≤0.9的关系。

5.一种金属掩模，是使用如权利要求1至4中任一项所述的金属掩模用披覆板材而形成，且

包含构成所述基材层的所述铁基合金。

6.一种金属掩模，是使用如权利要求1至4中任一项所述的金属掩模用披覆板材而形成，且

包括：第一金属层，包含构成所述基材层的所述铁基合金；以及第二金属层，包含构成所述第一载体层的金属，并且所述金属掩模是所述第一金属层与所述第二金属层接合而成。

7.一种金属掩模，是使用如权利要求3或4所述的金属掩模用披覆板材而形成，且

包括：第一金属层，包含构成所述基材层的所述铁基合金；第二金属层，包含构成所述第一载体层的金属；以及第三金属层，包含构成所述第二载体层的金属，并且所述金属掩模是所述第二金属层、所述第一金属层及所述第三金属层依次接合而成。