[发明专利]金属掩模用披覆板材以及金属掩模

说明书

本发明提供一种操作容易且可实现金属掩模的薄壁化，理想的是可提高金属掩模的生产性的金属掩模用披覆板材以及金属掩模。本发明的金属掩模用披覆板材在沿厚度方向切断的截面视时，包括：基材层，包含以30质量％以上且50质量％以下的范围含有Ni及Co中的一种以上的铁基合金；以及第一载体层，压接于基材层的其中一侧，基材层及第一载体层可由同质的蚀刻液进行蚀刻，且基材层相较于第一载体层而对蚀刻液更为高耐蚀。本发明的金属掩模使用所述金属掩模用披覆板材。

技术领域

本发明涉及一种金属掩模(metal mask)用披覆板材以及金属掩模。

详细来说，本发明是涉及一种具有可形成对蚀刻液的耐蚀性保护膜的金属表面的金属掩模用披覆板材、以及使用所述金属掩模用披覆板材的金属掩模，例如，本发明涉及一种用于制造有机电致发光(Electro Luminesence，EL)元件用金属掩模的金属掩模用披覆板材以及有机EL元件用金属掩模。

背景技术

例如，专利文献1中公开了一种用于制造有机EL元件的、包含单一种类金属的遮蔽治具(金属掩模)的制造方法。所述金属掩模是通过图1所示那样的步骤制造。图1中，步骤(a)为原材料准备步骤。此原材料准备步骤中，准备成为金属掩模的、包含单一种类金属的厚度T₁₀₀的单层结构的金属板材100a。所述金属板材100a例如包含Fe(铁)-Ni(镍)合金，此Fe-Ni合金含有约36质量％的Ni及约64质量％的Fe。所述Fe-Ni合金为周知的36合金，线膨胀系数小而为约1.2×10^-6/℃。金属板材100a的厚度T₁₀₀例如为10μm以上且50μm以下。步骤(b)为第一被覆步骤。此第一被覆步骤中，在金属板材100a的第一表面100b形成用于形成规定的蚀刻图案的保护膜101，在金属板材100a的第二表面100c形成用于防止蚀刻的保护膜102。步骤(c)为第一蚀刻步骤。此第一蚀刻步骤中，使用适于所述Fe-Ni合金的蚀刻液对金属板材100a进行蚀刻。通过所述第一蚀刻而将包含Fe-Ni合金的第一表面100b的不具有保护膜101的部分蚀刻，形成例如蚀刻孔100d。步骤(d)为第二被覆步骤。此第二被覆步骤中，在金属板材100a的第二表面100c形成用于形成规定的蚀刻图案的保护膜103，在金属板材100a的第一表面100b及蚀刻孔100d形成用于防止蚀刻的保护膜104。步骤(e)为第二蚀刻步骤。此第二蚀刻步骤中，使用与第一蚀刻步骤中所用的蚀刻液同质的蚀刻液对金属板材100a进行蚀刻。通过所述第二蚀刻而将包含Fe-Ni合金的第二表面100c的不具有保护膜103的部分蚀刻，形成例如蚀刻孔100e。步骤(f)为整饰步骤。此整饰步骤中，将保护膜103及保护膜104除去，对金属板材100a的整个表面进行清洗处理，整饰成金属掩模100。经过这种步骤，使用金属板材100a而获得例如具有掩模图案100f且厚度T₁₀₀与金属板材100a大致同等的、包含Fe-Ni合金的单层结构的金属掩模100。