[发明专利]一种抛光头驱动装置及抛光设备

权利要求书

1.一种抛光头驱动装置，其特征在于，包括：

安装板(1)；

升降机构(2)，设置在所述安装板(1)上，所述升降机构(2)包括升降电机(21)、丝杆(22)、丝杆螺母(23)和升降板(24)，所述丝杆螺母(23)套设在所述丝杆(22)上，所述升降板(24)与所述丝杆螺母(23)固定连接，所述升降电机(21)能够驱动所述丝杆(22)转动以使所述丝杆螺母(23)带动所述升降板(24)升降；

动力机构(3)，设置在所述升降板(24)上，所述动力机构(3)包括主轴(31)、转动电机(32)和分气块(33)，所述主轴(31)与所述丝杆(22)平行，所述转动电机(32)位于所述主轴(31)的一侧且能够驱动所述主轴(31)转动，所述主轴(31)的一端被配置为与抛光头组件固定连接，另一端与所述分气块(33)固定连接，所述分气块(33)通过所述主轴(31)与所述抛光头组件连通，以使所述抛光头组件能够吸附硅片以及调节对所述硅片的抛光压力。

2.根据权利要求1所述的抛光头驱动装置，其特征在于，所述升降机构(2)还包括限位组件(25)，所述限位组件(25)设置在所述安装板(1)上，所述升降板(24)和/或所述丝杆螺母(23)能够与所述限位组件(25)抵接，以限制所述升降板(24)的升降行程。

3.根据权利要求2所述的抛光头驱动装置，其特征在于，所述限位组件(25)包括上限位件(251)和下限位件(252)，所述升降板(24)的顶面能够与所述上限位件(251)抵接，所述升降板(24)的底面能够与所述下限位件(252)抵接。

4.根据权利要求1所述的抛光头驱动装置，其特征在于，所述升降机构(2)还包括导向组件(26)，所述导向组件(26)包括导向柱(261)和导向套(262)，所述导向柱(261)设置在所述安装板(1)上，所述导向套(262)可滑动地套设在所述导向柱(261)上且与所述升降板(24)固定连接。

5.根据权利要求1所述的抛光头驱动装置，其特征在于，所述动力机构(3)还包括传动组件(34)，所述传动组件(34)包括第一传动轮、第二传动轮和传动带(341)，所述第一传动轮固定套设在所述主轴(31)上且位于所述升降板(24)的上方，所述第二传动轮固定套设在所述转动电机(32)的输出轴上，所述传动带(341)套设在所述第一传动轮和所述第二传动轮上。

6.根据权利要求5所述的抛光头驱动装置，其特征在于，所述动力机构(3)还包括活动套管(35)，所述活动套管(35)与所述升降板(24)固定连接且与所述主轴(31)同轴设置，所述主轴(31)穿过所述活动套管(35)，所述活动套管(35)可升降地穿过所述安装板(1)。

7.根据权利要求6所述的抛光头驱动装置，其特征在于，所述动力机构(3)还包括固定套管(36)，所述固定套管(36)固定设置在所述安装板(1)上且与所述活动套管(35)同轴设置，所述活动套管(35)可滑动地穿过所述固定套管(36)。

8.根据权利要求7所述的抛光头驱动装置，其特征在于，所述动力机构(3)还包括保护罩组件(37)，所述保护罩组件(37)围罩所述活动套管(35)和所述固定套管(36)靠近所述抛光头组件的一端。

9.根据权利要求1-8任一项所述的抛光头驱动装置，其特征在于，一个所述升降机构(2)和一个所述动力机构(3)组成一个抛光单元，所述安装板(1)上设置有多个所述抛光单元，且相邻两个所述抛光单元呈中心对称设置。

10.一种抛光设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的抛光头驱动装置。