[发明专利]一种抛光头驱动装置及抛光设备

说明书

本发明涉及抛光技术领域，公开一种抛光头驱动装置及抛光设备。抛光头驱动装置包括安装板、升降机构和动力机构。升降机构设置在安装板上，升降机构包括升降电机、丝杆、丝杆螺母和升降板，升降电机能够驱动丝杆转动以使丝杆螺母带动升降板升降。动力机构设置在升降板上，动力机构包括主轴、转动电机和分气块，转动电机位于主轴的一侧且能够驱动主轴转动，主轴的一端被配置为与抛光头组件固定连接，另一端与分气块固定连接，分气块通过主轴与抛光头组件连通，以使抛光头组件能够吸附硅片以及调节硅片的抛光压力。该抛光头驱动装置不仅能精确控制升降速度和转速，还能够有效避免硅片变形和碎裂现象的发生，且结构简单紧凑，布局合理。

技术领域

本发明涉及抛光技术领域，尤其涉及一种抛光头驱动装置及抛光设备。

背景技术

目前，抛光设备通常包括抛光头组件和抛光盘，抛光盘位于抛光头组件的下方，其中，抛光头组件包括抛光头和陶瓷盘。在对硅片抛光时，利用抛光头组件带动硅片在抛光盘上转动的形式对硅片进行抛光。抛光的工艺原理是，将稀释后的抛光液喷在抛光盘上，通过抛光头组件带动硅片与抛光盘的差速同向旋转，使抛光盘与硅片之间做相对摩擦运动，利用镶嵌在抛光布中的微细颗粒对硅片表面进行微观摩擦切削，从而使得硅片表面的凹凸之处被抛平而变得平滑，达到表面光亮的目的。

在抛光过程中，抛光头组件的运动通常利用抛光头驱动装置来实现。但是，现有的抛光头驱动装置通常会导致硅片变形和碎裂现象的发生，而且结构较为复杂，布局合理性较差。

因此，亟需一种新型的抛光头驱动装置以解决上述技术问题。

发明内容

本发明的一个目的在于提供一种抛光头驱动装置，其与现有技术相比，能够有效避免硅片变形和碎裂现象的发生，结构简单紧凑，布局合理。

本发明的另一个目的在于提供一种抛光设备，通过应用上述抛光头驱动装置，能够有效避免硅片变形和碎裂现象的发生，结构简单紧凑，布局合理，工作稳定性高，抛光良品率高。

一种抛光头驱动装置，包括：

安装板；

升降机构，设置在所述安装板上，所述升降机构包括升降电机、丝杆、丝杆螺母和升降板，所述丝杆螺母套设在所述丝杆上，所述升降板与所述丝杆螺母固定连接，所述升降电机能够驱动所述丝杆转动以使所述丝杆螺母带动所述升降板升降；

动力机构，设置在所述升降板上，所述动力机构包括主轴、转动电机和分气块，所述主轴与所述丝杆平行，所述转动电机位于所述主轴的一侧且能够驱动所述主轴转动，所述主轴的一端被配置为与抛光头组件固定连接，另一端与所述分气块固定连接，所述分气块通过所述主轴与所述抛光头组件连通，以使所述抛光头组件能够吸附硅片以及调节对所述硅片的抛光压力。

进一步地，所述升降机构还包括限位组件，所述限位组件设置在所述安装板上，所述升降板和/或所述丝杆螺母能够与所述限位组件抵接，以限制所述升降板的升降行程。

进一步地，所述限位组件包括上限位件和下限位件，所述升降板的顶面能够与所述上限位件抵接，所述升降板的底面能够与所述下限位件抵接。

进一步地，所述升降机构还包括导向组件，所述导向组件包括导向柱和导向套，所述导向柱设置在所述安装板上，所述导向套可滑动地套设在所述导向柱上且与所述升降板固定连接。

进一步地，所述动力机构还包括传动组件，所述传动组件包括第一传动轮、第二传动轮和传动带，所述第一传动轮固定套设在所述主轴上且位于所述升降板的上方，所述第二传动轮固定套设在所述转动电机的输出轴上，所述传动带套设在所述第一传动轮和所述第二传动轮上。

进一步地，所述动力机构还包括活动套管，所述活动套管与所述升降板固定连接且与所述主轴同轴设置，所述主轴穿过所述活动套管，所述活动套管可升降地穿过所述安装板。