[发明专利]一种抛光设备

权利要求书

1.一种抛光设备，其特征在于，包括：

工作台(1)，包括上下料工位(11)、粗抛工位(12)、中抛工位(13)和精抛工位(14)；

抛光盘模组(2)，三个所述抛光盘模组(2)分别设置在所述粗抛工位(12)、所述中抛工位(13)和所述精抛工位(14)上；

抛光头模组，包括抛光头(3)和抛光头驱动装置(4)，多个所述抛光头(3)设置在所述抛光头驱动装置(4)上，所述抛光头驱动装置(4)能够驱动所述抛光头(3)吸取硅片并在不同工位之间切换，以使所述抛光头(3)能够与相应工位上的所述抛光盘模组(2)相配合以同时对所述硅片进行粗抛光、中抛光和精抛光。

2.根据权利要求1所述的抛光设备，其特征在于，所述抛光头驱动装置(4)包括转盘(41)和抛光头驱动机构(42)，所述抛光头驱动机构(42)设置在所述转盘(41)上，所述抛光头(3)设置在所述抛光头驱动机构(42)上，所述转盘(41)能够转动以使所述抛光头驱动机构(42)上的所述抛光头(3)与相应工位上的所述抛光盘模组(2)相配合。

3.根据权利要求2所述的抛光设备，其特征在于，所述抛光头驱动机构(42)的数量为四个，四个所述抛光头驱动机构(42)分别与所述上下料工位(11)、所述粗抛工位(12)、所述中抛工位(13)和所述精抛工位(14)相对设置。

4.根据权利要求3所述的抛光设备，其特征在于，所述抛光头驱动机构(42)包括安装板(421)和旋转升降驱动组件，所述安装板(421)固定设置在所述转盘(41)上，所述旋转升降驱动组件与所述抛光头(3)相连接，以驱动所述抛光头(3)转动和/或升降。

5.根据权利要求4所述的抛光设备，其特征在于，每个所述旋转升降驱动组件上设置有一个所述抛光头(3)，多个所述旋转升降驱动组件设置在所述安装板(421)。

6.根据权利要求1所述的抛光设备，其特征在于，所述抛光头(3)为浮动式抛光头。

7.根据权利要求2所述的抛光设备，其特征在于，所述抛光设备还包括定位装置(5)，所述定位装置(5)能够使所述转盘(41)静止在所述抛光头(3)能够与所述抛光盘模组(2)相配合的位置。

8.根据权利要求7所述的抛光设备，其特征在于，所述定位装置(5)的数量为四个，四个所述定位装置(5)分别与所述上下料工位(11)、所述粗抛工位(12)、所述中抛工位(13)和所述精抛工位(14)相对设置。

9.根据权利要求2所述的抛光设备，其特征在于，所述抛光设备还包括刹车装置(6)，所述刹车装置(6)能够使所述转盘(41)减速至停止转动。

10.根据权利要求1所述的抛光设备，其特征在于，所述抛光盘模组(2)包括抛光盘(21)和抛光盘驱动装置(22)，所述抛光盘驱动装置(22)能够驱动所述抛光盘(21)在水平面内转动以及移动。