[发明专利]MEMS陀螺仪

权利要求书

1.一种MEMS陀螺仪，其特征在于，所述MEMS陀螺仪包括：

固定件；

环形件，所述环形件为正8角星形，若干所述环形件依次间隔嵌套布设于所述固定件外侧；

第一辐条，若干所述第一辐条等间距环形布设于所述固定件和与所述固定件相邻的所述环形件之间，以连接所述固定件和所述环形件；

第二辐条，若干所述第二辐条等间距环形布设于相邻的所述环形件之间，以连接相邻的所述环形件；以及

第一电极组件，所述第一电极组件环形布设于所述环形件外周。

2.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于：所述第一电极组件包括用于驱动所述环形件沿相互垂直的第一方向和第二方向振动的第一驱动电极、用于检测所述环形件沿与所述第一方向呈45°角方向和与所述第一方向呈135°角方向振动的第一检测电极以及设置于所述第一驱动电极和所述第一检测电极之间的第一校准电极。

3.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于：所述MEMS陀螺仪还包括第二电极组件，所述第二电极组件设置于两个相邻的所述环形件之间。

4.根据权利要求3所述的MEMS陀螺仪，其特征在于：所述第二电极组件呈正8角星形布设。

5.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于：所述MEMS陀螺仪还包括质量块，所述质量块设置于两个相邻的所述环形件之间并与所述第二辐条或所述环形件连接。

6.根据权利要求5所述的MEMS陀螺仪，其特征在于：所述质量块呈正8角星形布设。

7.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于：所述MEMS陀螺仪还包括第二电极组件以及质量块；其中，所述第二电极组件设置于两个相邻的所述环形件之间，所述质量块设置于所述第一电极组件和所述第二电极组件之间并与所述第一电极组件和所述第二电极组件之间的所述第二辐条或所述环形件连接。

8.根据权利要求7所述的MEMS陀螺仪，其特征在于：所述第二电极组件和所述质量块均呈正8角星形布设。

9.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于：所述固定件的外轮廓呈正8角星形。

10.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于：所述环形件、所述固定件、所述第一辐条及所述第二辐条一体成型。

11.根据权利要求2所述的MEMS陀螺仪，其特征在于：沿所述环形件同一径向设置的所述第二辐条间隔设置。

12.根据权利要求11所述的MEMS陀螺仪，其特征在于：所述第一辐条分别连接在所述固定件分别沿所述第一方向的两端以及沿所述第二方向的两端。

13.根据权利要求12所述的MEMS陀螺仪，其特征在于：所述第一辐射条与相邻所述第二辐射条平行且相互间隔设置。