[发明专利]MEMS陀螺仪

说明书

本发明公开了MEMS陀螺仪，其包括：固定件；环形件，所述环形件为正8角星形，若干所述环形件依次间隔嵌套布设于所述固定件外侧；第一辐条，若干所述第一辐条等间距环形布设于所述固定件和与所述固定件相邻的所述环形件之间，以连接所述固定件和所述环形件；第二辐条，若干所述第二辐条等间距环形布设于相邻的所述环形件之间，以连接相邻的所述环形件；以及第一电极组件，所述第一电极组件环形布设于所述环形件外周。

【技术领域】

本发明涉及陀螺仪技术领域，尤其涉及一种MEMS陀螺仪。

【背景技术】

微机械陀螺仪，即MEMS(Micro Electro Mechanical systems)陀螺仪，是一种典型的角速度微传感器，由于其尺寸小、功耗低和加工方便等优势在消费电子市场有着非常广泛的应用。近年来随着MEMS陀螺仪性能的逐步提升，广泛应用于汽车、工业、虚拟现实等领域。

MEMS陀螺仪可分为线振动音叉型陀螺仪和圆盘形陀螺仪两类，其中，圆盘形陀螺仪的驱动模态振型和检测模态振型兼并,灵敏度高，且结构简单，逐步成为实用较为广泛的高性能陀螺仪。但是，圆盘形陀螺仪受限于结构和空间布局，导致品质因数低，且结构内可够容纳的电容量较小，存在着应用的局限。

因而，有必要提供一种新的MEMS陀螺仪以解决上述的问题。

【发明内容】

本发明的目的公开一种能够提升品质因数和结构内可够容纳的电容量的MEMS陀螺仪。

本发明的目的采用如下技术方案实现，提供一种MEMS陀螺仪，所述MEMS陀螺仪包括：

固定件；

环形件，所述环形件为正8角星形，若干所述环形件依次间隔嵌套布设于所述固定件外侧；

第一辐条，若干所述第一辐条等间距环形布设于所述固定件和与所述固定件相邻的所述环形件之间，以连接所述固定件和所述环形件；

第二辐条，若干所述第二辐条等间距环形布设于相邻的所述环形件之间，以连接相邻的所述环形件；以及

第一电极组件，所述第一电极组件环形布设于所述环形件外周。优选地，所述第一电极组件包括用于驱动所述环形件沿相互垂直的第一方向和第二方向振动的第一驱动电极、用于检测所述环形件沿与所述第一方向呈45°角方向和与所述第一方向呈135°角方向振动的第一检测电极以及设置于所述第一驱动电极和所述第一检测电极之间的第一校准电极。

优选地，所述MEMS陀螺仪还包括第二电极组件，所述第二电极组件设置于两个相邻的所述环形件之间。

优选地，所述第二电极组件呈正8角星形布设。

优选地，所述MEMS陀螺仪还包括质量块，所述质量块设置于两个相邻的所述环形件之间并与所述第二辐条或所述环形件连接。

优选地，所述质量块呈正8角星形布设。

优选地，所述MEMS陀螺仪还包括第二电极组件以及质量块；其中，所述第二电极组件设置于两个相邻的所述环形件之间，所述质量块设置于所述第一电极组件和所述第二电极组件之间并与所述第一电极组件和所述第二电极组件之间的所述第二辐条或所述环形件连接。

优选地，所述第二电极组件和所述质量块均呈正8角星形布设。

优选地，所述固定件的外轮廓呈正8角星形。

优选地，所述环形件、所述固定件、所述第一辐条及所述第二辐条一体成型。

优选地，沿所述环形件同一径向设置的所述第二辐条间隔设置。

优选地，所述第一辐条分别连接在所述固定件分别沿所述第一方向的两端以及沿所述第二方向的两端。