[实用新型]一种晶圆托举机构有效
| 申请号： | 201920003162.9 | 申请日： | 2019-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN209383334U | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 刘红军;杨刚;单宏;刘宵婵;郑金宝;孟宪圆;高今朝 | 申请（专利权）人： | 秦皇岛视听机械研究所有限公司 |
| 主分类号： | B66F11/00 | 分类号： | B66F11/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 李兴林 |
| 地址： | 066000 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆 承片台 本实用新型 安装基座 托举机构 上表面 种晶 过程稳定 机构连接 占用空间 圆顶片 中心处 滑孔 均布 墨点 取放 探针 转运 损伤 | ||
1.一种晶圆托举机构，包括承片台(1)，所述承片台(1)通过下方的安装基座(5)连接在探针台上；其特征在于：所述承片台(1)上表面的中心处均布有四个滑孔(2)，所述安装基座(5)通过连接块(4)与晶圆顶片机构(3)连接；
所述晶圆顶片机构(3)包括架体(301)和升降臂(302)，所述架体(301)的上端安装在所述安装基座(5)上，所述升降臂(302)位于所述承片台(1)的下方，所述升降臂(302)的一端设置有托盘(303)，另一端贯穿所述架体(301)与升降座(305)连接，所述升降座(305)的下方设置有推杆电机(307)，所述推杆电机(307)的工作端与所述升降座(305)连接，并且所述推杆电机(307)安装在所述架体(301)的底板上；
所述托盘(303)上均布有四个竖直的顶片柱(304)，各所述顶片柱(304)的上端延伸至所述滑孔(2)中。
2.根据权利要求1所述的晶圆托举机构，其特征在于：所述升降臂(302)在背离所述托盘(303)的一端连接有传感器挡片(306)，所述架体(301)的侧壁上设置有两个限位传感器(308)，所述推杆电机(307)带动所述传感器挡片(306)上升或下降分别与所述限位传感器(308)配合，所述推杆电机(307)在两个所述限位传感器(308)之间通过程序控制往复运动，实现晶圆与所述承片台(1)的接触或分离。
3.根据权利要求1所述的晶圆托举机构，其特征在于：所述顶片柱(304)的上端设置有橡胶垫。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于秦皇岛视听机械研究所有限公司，未经秦皇岛视听机械研究所有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920003162.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
