[实用新型]一种工业生产用硅片温水脱胶喷淋装置

权利要求书

1.一种工业生产用硅片温水脱胶喷淋装置，包括脱胶槽(5)，其特征在于，所述脱胶槽(5)的底部四角通过螺栓连接有支撑腿(1)，所述支撑腿(1)的外壁通过螺栓连接有同一个安装底座(2)，所述安装底座(2)的顶部通过螺栓连接有储液箱(14)，所述安装底座(2)的顶部一侧通过螺栓连接有抽液泵(3)，所述储液箱(14)的内壁通过螺栓连接有加热板(15)，且储液箱(14)的内壁底部通过螺栓连接有过滤网筒(16)，所述过滤网筒(16)与抽液泵(3)通过管道连接，所述脱胶槽(5)的外壁通过螺栓连接有处理器(6)，且脱胶槽(5)的顶部开设有矩形槽口，所述脱胶槽(5)的内壁两侧通过螺栓连接有轴承底座，且轴承底座的内壁通过轴承连接有转动轴(7)，所述转动轴(7)的一侧通过螺栓连接有固定板(9)，且固定板(9)的外壁一侧开设有卡槽(20)，所述卡槽(20)的内壁滑动连接有硅片放置架(10)，且硅片放置架(10)的内部卡接有硅片，所述储液箱(14)的内壁通过螺栓连接有温度传感器(17)，且温度传感器(17)与处理器(6)通过信号线电性连接，所述脱胶槽(5)的内壁底部焊接有漏水口管，且漏水管的底部通过通过螺纹连接有过滤器(18)，所述过滤器(18)的底部通过卡套连接有波纹管(19)，所述卡槽(20)的内部卡接有固定杆(21)。

2.根据权利要求1所述的一种工业生产用硅片温水脱胶喷淋装置，其特征在于，所述固定板(9)的外壁开设有螺纹孔，且螺纹孔内部通过螺纹连接有紧固螺栓(8)，固定板(9)与硅片放置架(10)通过紧固螺栓(8)稳定连接。

3.根据权利要求1所述的一种工业生产用硅片温水脱胶喷淋装置，其特征在于，所述转动轴(7)的一侧通过螺栓连接有转动圆盘(11)，且转动圆盘(11)的外壁通过螺栓连接有转动把手。

4.根据权利要求1所述的一种工业生产用硅片温水脱胶喷淋装置，其特征在于，所述波纹管(19)与储液箱(14)通过卡套连接。

5.根据权利要求1所述的一种工业生产用硅片温水脱胶喷淋装置，其特征在于，所述抽液泵(3)的顶部通过螺栓连接有输液管(4)，且输液管(4)的顶部通过卡套连接有喷液管(13)。

6.根据权利要求5所述的一种工业生产用硅片温水脱胶喷淋装置，其特征在于，所述脱胶槽(5)内部延伸的喷液管(13)顶部通过螺纹连接有喷液头(12)。

7.根据权利要求1所述的一种工业生产用硅片温水脱胶喷淋装置，其特征在于，所述处理器(6)与抽液泵(3)和加热板(15)的外部开关通过导线电性连接，且处理器(6)与外部电源通过输电线电性连接。