[实用新型]一种工业生产用硅片温水脱胶喷淋装置有效

专利信息
申请号: 201920015442.1 申请日: 2019-01-07
公开(公告)号: CN209393641U 公开(公告)日: 2019-09-17
发明(设计)人: 张忠安;张忠华;张俊;纪云民 申请(专利权)人: 江西豪安能源科技有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B13/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 330500 江*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 螺栓连接 硅片放置 安装底座 储液箱 硅片 脱胶 转动 本实用新型 紧固螺栓 喷淋装置 转动圆盘 固定板 脱胶槽 支撑腿 温水 卡槽 内壁 底部四角 固定杆卡 过滤网筒 抽液泵 加热板 转动轴 卡接 外壁
【说明书】:

实用新型公开了一种工业生产用硅片温水脱胶喷淋装置,包括脱胶槽,所述脱胶槽的底部四角通过螺栓连接有支撑腿,所述支撑腿的外壁通过螺栓连接有同一个安装底座,所述安装底座的顶部通过螺栓连接有储液箱,所述安装底座的顶部一侧通过螺栓连接有抽液泵,所述储液箱的内壁通过螺栓连接有加热板,且储液箱的内壁底部通过螺栓连接有过滤网筒。本实用新型中,通过设置有转动圆盘,硅片放置架、紧固螺栓,固定板、卡槽,将硅片放置架卡接在固定板上安装的卡槽内,通过紧固螺栓将硅片放置架固定,同时将固定杆卡接在卡槽内,工作人员转动转动圆盘带动转动轴转动,从而带动硅片放置架转动,可对硅片进行充分脱胶。

技术领域

本实用新型涉及硅片生产技术领域,尤其涉及一种工业生产用硅片温水脱胶喷淋装置。

背景技术

在米粒大的硅片上,已能集成16万个晶体管,这是科学技术进步的又一个里程碑,地壳中含量达25.8%的硅元素,为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一,对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言,储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一。

在硅片的生产制造中,硅片表面的洁净度是影响硅片合格率和电池转换效率的关键因素,现有技术中硅片脱胶过程是将切片完成并清洗后的硅片放置于脱胶槽内浸泡,浸泡完成后放入载片盒中运走,工作效率较低,同时传统的脱胶槽内通常由冷水浸泡喷淋,不能全面的对硅片进行脱胶。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种工业生产用硅片温水脱胶喷淋装置。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种工业生产用硅片温水脱胶喷淋装置,包括脱胶槽,所述脱胶槽的底部四角通过螺栓连接有支撑腿,所述支撑腿的外壁通过螺栓连接有同一个安装底座,所述安装底座的顶部通过螺栓连接有储液箱,所述安装底座的顶部一侧通过螺栓连接有抽液泵,所述储液箱的内壁通过螺栓连接有加热板,且储液箱的内壁底部通过螺栓连接有过滤网筒,所述过滤网筒与抽液泵通过管道连接,所述脱胶槽的外壁通过螺栓连接有处理器,且脱胶槽的顶部开设有矩形槽口,所述脱胶槽的内壁两侧通过螺栓连接有轴承底座,且轴承底座的内壁通过轴承连接有转动轴,所述转动轴的一侧通过螺栓连接有固定板,且固定板的外壁一侧开设有卡槽,所述卡槽的内壁滑动连接有硅片放置架,且硅片放置架的内部卡接有硅片,所述储液箱的内壁通过螺栓连接有温度传感器,且温度传感器与处理器通过信号线电性连接,所述脱胶槽的内壁底部焊接有漏水口管,且漏水管的底部通过通过螺纹连接有过滤器,所述过滤器的底部通过卡套连接有波纹管,所述卡槽的内部卡接有固定杆。

优选的,所述固定板的外壁开设有螺纹孔,且螺纹孔内部通过螺纹连接有紧固螺栓,固定板与硅片放置架通过紧固螺栓稳定连接。

优选的,所述转动轴的一侧通过螺栓连接有转动圆盘,且转动圆盘的外壁通过螺栓连接有转动把手。

优选的,所述波纹管与储液箱通过卡套连接。

优选的,所述抽液泵的顶部通过螺栓连接有输液管,且输液管的顶部通过卡套连接有喷液管。

优选的,所述脱胶槽内部延伸的喷液管顶部通过螺纹连接有喷液头。

优选的,所述处理器与抽液泵和加热板的外部开关通过导线电性连接,且处理器与外部电源通过输电线电性连接。

本实用新型的有益效果为:

1、本实用新型提出的工业生产用硅片温水脱胶喷淋装置,通过设置有喷液管、喷液头、抽液泵、储液箱、过滤网筒、加热板、温度传感器,加热板对储液箱内溶液进行加热,温度传感器实时检测储液箱内的温度,通过信号线将信息传递至处理器,处理器控制加热板上得输出功率,调节储液箱内的温度高低,抽液泵将过滤网筒过滤后的溶液抽入输液管中,通过输液管一端安装的喷液管顶部喷液头进行喷出,可对硅片放置架进行喷淋,可快速进行硅片脱胶。

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