[实用新型]制造平面锂靶材组件的设备

权利要求书

1.一种制造平面锂靶材组件的设备，其特征在于，所述设备包括：

真空室；

与真空室相连的抽真空装置和可选的破真空装置；

用于支撑初始靶材组件的支撑件和用于向初始靶材组件施压的施压件，其中所述支撑件和所述施压件以可移除的方式置于所述真空室中；

加热装置，用于加热被所述支撑件支撑的初始靶材组件，

其中，所述初始靶材组件包括锂靶坯和背板，所述锂靶坯具有第一主表面和与第一主表面相反的第一背面，所述背板具有第二主表面和与第二主表面相反的第二背面，所述锂靶坯的第一主表面与所述背板的第二主表面相对设置并贴合，形成初始组件。

2.如权利要求1所述的制造平面锂靶材组件的设备，其特征在于，所述设备还包括模具，所述模具具有两端开放的腔室，所述腔室具有与所述锂靶坯相同的横截面形状。

3.如权利要求2所述的制造平面锂靶材组件的设备，其特征在于，所述施压件包括施压块，所述施压块具有与所述模具的腔室相同的横截面形状，从而所述施压块、所述模具和所述背板构成将所述锂靶坯包封在其中的封闭空间。

4.如权利要求3所述的制造平面锂靶材组件的设备，其特征在于，所述锂靶坯的横截面为圆形或矩形。

5.如权利要求1所述的制造平面锂靶材组件的设备，其特征在于，所述施压件的要与锂靶坯接触的部位具有防粘部件，或者所述设备还包括设置在所述施压件与所述锂靶坯之间的防粘部件。

6.如权利要求1所述的制造平面锂靶材组件的设备，其特征在于，所述支撑件和所述加热装置是同一器件，或者所述支撑件构成所述加热装置的一部分。