[实用新型]制造平面锂靶材组件的设备有效
申请号: | 201920027229.2 | 申请日: | 2019-01-08 |
公开(公告)号: | CN209906873U | 公开(公告)日: | 2020-01-07 |
发明(设计)人: | 齐大志;程滋平;杨诚;陈强;牟瀚波;吴春敢;刘慧芳;代春雨 | 申请(专利权)人: | 天津中能锂业有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;B23K20/14;B23K20/00 |
代理公司: | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 贺卫国 |
地址: | 300457 天津*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 靶材组件 真空室 支撑件 施压件 靶材 本实用新型 抽真空装置 破真空装置 方案解决 加热装置 生产问题 黏性 金属锂 可选的 可移除 施压 支撑 加热 柔软 制造 生产 | ||
公开了一种制造平面锂靶材组件的设备,包括:真空室;与真空室相连的抽真空装置和可选的破真空装置;用于支撑初始靶材组件的支撑件和用于向初始靶材组件施压的施压件,其中所述支撑件和所述施压件以可移除的方式置于所述真空室中;加热装置,用于加热被所述支撑件支撑的初始靶材组件。本实用新型的技术方案解决了平面锂靶材生产中靶材质量不佳的问题,所制造的靶材组件具有高抗拉强度,还可以解决金属锂柔软和黏性所导致的生产问题,使靶材组件的生产简洁易行,且基本无原材料浪费。
技术领域
本实用新型涉及金属靶材技术领域,尤其涉及制造锂靶材组件的设备。
背景技术
金属锂是一种稀有元素,密度0.534g/cm3,是最轻的金属。熔点180.54℃,沸点1317℃。具有软,韧性大,延展性好,化学活性好,负电位高、比能量大,可与大量无机试剂和有机试剂发生反应,与水的反应非常剧烈的特点。
金属锂靶材可以通过溅射至玻璃上从而获得电致变色玻璃,在建筑、飞机、汽车等领域广泛应用,有助于节能和环保。
由于金属锂熔点低、不稳定、难以控制,无法通过传统的粉末冶金、喷涂等方法制备成靶材。中国专利申请号201510756173.0公开了一种金属锂靶材铸造制备方法,但是该方法仅适合铸造加工旋转靶材。目前,需要用于制造平面金属锂靶材组件的工业上适用的设备。
实用新型内容
本实用新型旨在解决缺乏工业上适用的制造平面金属锂靶材组件的设备的问题。
本实用新型的发明人致力于通过简单的焊接工艺制造平面金属锂靶材组件的研究,发现:在保护性气体(例如氩气)气氛中,可以通过焊接制造出外观很好的锂靶材组件,但存在靶材内容易有气室、鼓包等,导致使用效果不好的问题;而在真空环境中,利用真空扩散焊,不仅可以相对容易地获得平面金属锂靶材组件,而且制造出的靶材组件不易出现气室、鼓包等,具有高强度。另外,针对金属锂柔软、易变形且易粘附而不容易,实用新型人进一步设计了用于真空扩散焊接的设备,从而完成了本实用新型。
本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现。
本实用新型提供一种制造平面锂靶材组件的设备,包括:
真空室;
与真空室相连的抽真空装置和可选的破真空装置;
用于支撑初始靶材组件的支撑件和用于向初始靶材组件施压的施压件,其中所述支撑件和所述施压件以可移除的方式置于所述真空室中;
加热装置,用于加热被所述支撑件支撑的初始靶材组件,
其中,所述初始靶材组件包括锂靶坯和背板,所述锂靶坯具有第一主表面和与第一主表面相反的第一背面,所述背板具有第二主表面和与第二主表面相反的第二背面,所述锂靶坯的第一主表面与所述背板的第二主表面相对设置并贴合,形成初始组件。
可选地,所述设备还包括模具,所述模具具有两端开放的腔室,所述腔室具有与所述锂靶坯相同的横截面形状。
可选地,所述施压件包括施压块,所述施压块具有与所述模具的腔室相同的横截面形状,从而所述施压块、所述模具和所述背板构成将所述锂靶坯包封在其中的封闭空间。
可选地,所述锂靶坯的横截面为圆形或矩形。
可选地,所述施压件的要与锂靶坯接触的部位具有防粘部件,或者所述设备还包括设置在所述施压件与所述锂靶坯之间的防粘部件。
可选地,所述支撑件和所述加热装置是同一器件,或者所述支撑件构成所述加热装置的一部分。
本实用新型的技术方案至少具有以下优点之一:
1、利用真空扩散焊设备制造平面锂靶材组件,工艺简单易行,投资成本低;
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