[实用新型]成膜基板的降温系统有效
| 申请号： | 201920027810.4 | 申请日： | 2019-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN209456559U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 邱大均 | 申请（专利权）人： | 成都中电熊猫显示科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 李小波;刘芳 |
| 地址： | 610200 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 成膜基板 吸热板 降温系统 冷却板 本实用新型 紧贴固定 竖立设置 相对设置 真空转换 冷却液 出轨 基板 体内 | ||
1.一种成膜基板的降温系统，其特征在于，包括：冷却板和吸热板；
所述冷却板和所述吸热板紧贴固定连接，均竖立设置在真空转换腔体内，所述吸热板与位于基板出轨道上的成膜基板相对设置且所述吸热板靠近所述成膜基板；
其中，所述冷却板用于充入冷却液。
2.根据权利要求1所述的降温系统，其特征在于，还包括：冷却循环装置；
并通过管路与所述冷却板连接，所述冷却循环装置用于对所述冷却液进行循环和降温。
3.根据权利要求2所述的降温系统，其特征在于，所述冷却板上设置有冷却液进口和冷却液出口，所述冷却液进口和所述冷却液出口分别与所述冷却循环装置连接。
4.根据权利要求3所述的降温系统，其特征在于，所述冷却板上设置有内部连通的冷却管，所述冷却管的起点和终点分别为所述冷却液进口和所述冷却液出口。
5.根据权利要求4所述的降温系统，其特征在于，所述冷却管均匀分布在所述冷却板上。
6.根据权利要求1-5任一项所述的降温系统，其特征在于，还包括：通风管路；
所述通风管路用于向所述真空转换腔体内充入降温气体，所述降温气体的温度低于环境温度。
7.根据权利要求6所述的降温系统，其特征在于，还包括：制冷装置；
所述制冷装置与所述通风管路连接，用于降低所述降温气体的温度。
8.根据权利要求1-5任一项所述的降温系统，其特征在于，所述吸热板和位于基板出轨道上的成膜基板的距离为5-10厘米。
9.根据权利要求8所述的降温系统，其特征在于，所述吸热板的长度和宽度均大于所述成膜基板的长度和宽度，所述冷却板与所述吸热板的形状大小均相同。
10.根据权利要求9所述的降温系统，其特征在于，所述吸热板为表面镀黑色膜层的氧化铝板。
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