[实用新型]一种微元件转移装置

权利要求书

1.一种微元件转移装置，其特征在于，包括：

腔室本体，用于定义一真空腔室，且所述腔室本体的侧壁上形成有与所述真空腔室连通且呈阵列方式排布的多个通孔；

多个吸嘴，分别与所述通孔对应设置，并定义一个经所述通孔连通至所述真空腔室的吸取通道；

多个封堵组件，分别与所述吸取通道对应设置，其中每一所述封堵组件包括第一盖板、第二盖板和致动组件，所述致动组件用于控制所述第一盖板和所述第二盖板在第一相对位置和第二相对位置之间切换，当处于所述第一相对位置时，所述第一盖板和所述第二盖板隔断所述吸取通道到所述真空腔室的连通，当处于所述第二相对位置时，所述第一盖板和所述第二盖板使得所述吸取通道保持到所述真空腔室的连通。

2.根据权利要求1所述的微元件转移装置，其特征在于，所述第一盖板和所述第二盖板彼此层叠设置，所述第一盖板上设置有第一开口，所述第二盖板上设置有第二开口，所述致动组件用于控制所述第一盖板和所述第二盖板进行相对转动，以使得当处于所述第一相对位置时，所述第一开口和所述第二开口彼此错开，当处于所述第二相对位置时，所述第一开口和所述第二开口至少部分重合。

3.根据权利要求2所述的微元件转移装置，其特征在于，所述致动组件包括转动臂和电磁铁，其中所述转动臂与所述第一盖板和所述第二盖板中的一者连接，所述电磁铁对所述转动臂产生磁力作用，以使得所述第一盖板和所述第二盖板中的一者相对于另一者进行转动。

4.根据权利要求3所述的微元件转移装置，其特征在于，所述转动臂包括转杆和摆杆，其中所述转杆与所述第一盖板和所述第二盖板中的一者的表面垂直连接，所述摆杆与所述转杆交叉连接，所述摆杆在所述电磁铁的磁力作用进行摆动，进而通过所述转杆带动所述第一盖板和所述第二盖板中的一者相对于另一者进行转动。

5.根据权利要求4所述的微元件转移装置，其特征在于，所述电磁铁包括彼此间隔设置的第一电磁铁和第二电磁铁，其中所述第一电磁铁和所述第二电磁铁分别对所述摆杆产生磁力作用，进而使得所述第一盖板和所述第二盖板在所述第一相对位置和所述第二相对位置之间切换。

6.根据权利要求4所述的微元件转移装置，其特征在于，所述摆杆具有磁性，所述电磁铁对所述摆杆产生吸引力和排斥力，进而使得所述第一盖板和所述第二盖板在所述第一相对位置和所述第二相对位置之间切换。

7.根据权利要求6所述的微元件转移装置，其特征在于，进一步包括一限位槽，所述限位槽一端设置所述电磁铁，另一端设置阻挡件，所述摆杆在所述电磁铁的磁力作用下在所述限位槽内进行摆动。

8.根据权利要求1所述的微元件转移装置，其特征在于，所述第一盖板上设置有第一开口，所述致动组件用于控制所述第一盖板和所述第二盖板沿垂直所述第一盖板/所述第二盖板的方向进行相对运动，以使得当处于所述第一相对位置时，所述第一盖板和所述第二盖板相互抵接，所述第一开口和所述吸取通道不连通，当处于所述第二相对位置时，所述第一盖板和所述第二盖板彼此分离，所述第一开口和所述吸取通道连通。

9.根据权利要求8所述的微元件转移装置，其特征在于，所述致动组件包括移动臂和电磁铁，其中所述移动臂与所述第一盖板和所述第二盖板中的一者连接，所述电磁铁对所述移动臂产生磁力作用，以使得所述第一盖板和所述第二盖板沿垂直所述第一盖板/所述第二盖板的方向相互靠近或相互分离。

10.根据权利要求1所述的微元件转移装置，其特征在于，所述微元件转移装置进一步包括多个开关，每一所述开关分别对应连接到所述致动组件，并对所述致动组件进行独立控制。