[实用新型]一种微元件转移装置

说明书

本申请公开了一种微元件转移装置，包括：腔室本体，用于定义一真空腔室，且腔室本体的侧壁上形成有与真空腔室连通且呈阵列方式排布的多个通孔；多个吸嘴，分别与通孔对应设置，并定义一个经通孔连通至真空腔室的吸取通道；多个封堵组件，分别与吸取通道对应设置，其中每一封堵组件包括第一盖板、第二盖板和致动组件，致动组件用于控制第一盖板和第二盖板在第一相对位置和第二相对位置之间切换，当处于第一相对位置时，第一盖板和第二盖板隔断吸取通道到真空腔室的连通，当处于第二相对位置时，第一盖板和第二盖板使得吸取通道保持到真空腔室的连通。通过上述方式，本申请能够节省转移时间。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，特别是涉及一种微元件转移装置。

背景技术

微元件技术是指在衬底上以高密度集成的微小尺寸的元件阵列。目前，微间距发光二极管(Micro LED)技术逐渐成为研究热门，在制造微元件的过程中，首先在施体基板上形成微元件，接着将微元件转移到接收基板上，接收基板可以是显示面板等。由于显示面板中需要设置的器件的数量往往较多，因此，将微元件逐一且有选择性的转移于显示面板中需要耗费大量的时间。

实用新型内容

本申请提供一种微元件转移装置，能够解决将微元件逐一且有选择性的转移于显示面板中需要耗费大量的时间的问题。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种微元件转移装置，包括：腔室本体，用于定义一真空腔室，且腔室本体的侧壁上形成有与真空腔室连通且呈阵列方式排布的多个通孔；多个吸嘴，分别与通孔对应设置，并定义一个经通孔连通至真空腔室的吸取通道；多个封堵组件，分别与吸取通道对应设置，其中每一封堵组件包括第一盖板、第二盖板和致动组件，致动组件用于控制第一盖板和第二盖板在第一相对位置和第二相对位置之间切换，当处于第一相对位置时，第一盖板和第二盖板隔断吸取通道到真空腔室的连通，当处于第二相对位置时，第一盖板和第二盖板使得吸取通道保持到真空腔室的连通。

本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请的微元件转移装置包括多个封堵组件，每个封堵组件利用致动组件控制第一盖板和第二盖板在第一相对位置和第二相对位置之间切换，当处于第一相对位置时，第一盖板和第二盖板隔断吸取通道到真空腔室的连通，当处于第二相对位置时，第一盖板和第二盖板使得吸取通道保持到真空腔室的连通，从而可以批量转移微器件时，控制致动组件选择性地转移施体基板上的至少部分微器件，一次可以转移多个微器件，进而可以节省转移时间，提高转移效率。

附图说明

图1是本申请微元件转移装置第一实施例的结构示意图；

图2是本申请微元件转移装置第一实施例中封堵组件各部件的结构示意图；

图3是本申请微元件转移装置第二实施例中封堵组件各部件的结构示意图；

图4是本申请微元件转移装置第三实施例一应用例中封堵组件各部件的结构示意图；

图5是本申请微元件转移装置第三实施例另一应用例中封堵组件各部件的结构示意图；

图6是本申请微元件转移装置第四实施例的结构示意图；

图7是图6所示的微元件转移装置转移微元件的过程示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

如图1所示，本申请的微元件转移装置第一实施例中，微元件转移装置10包括：腔室本体101、多个吸嘴102和多个封堵组件103。