[实用新型]一种动态气敏特性检测装置有效
申请号: | 201920052972.3 | 申请日: | 2019-01-11 |
公开(公告)号: | CN209460228U | 公开(公告)日: | 2019-10-01 |
发明(设计)人: | 陈栋梁;周睿颖;荣钱;邹子纯;曹立志;周文建 | 申请(专利权)人: | 合肥微纳传感技术有限公司 |
主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00 |
代理公司: | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人: | 张景云 |
地址: | 230088 安徽省合肥市高新区创新大道2*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传感器芯片 上盖 底座 测试腔 进气口 本实用新型 检测装置 气敏特性 探针 检测 触点接触 待测气体 固定配合 检测信息 排气口排 多通道 排气口 失误率 匹配 | ||
1.一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:包括底座、上盖;所述底座上固定有至少一个传感器芯片;所述上盖上设置有与传感器芯片触点的位置和数量相匹配的探针,以及开设有进气口和排气口;所述上盖和底座固定配合后,探针与相对应的传感器芯片的触点接触,且上盖和底座之间形成测试腔,传感器芯片处于测试腔内,待测气体自进气口进入,经过测试腔后从排气口排出。
2.根据权利要求1所述的一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:所述底座外周壁上竖向设置有凸条,所述上盖底端开口形成容纳底座的腔体,腔体内壁设置有与凸条数量、位置对应的插槽;底座与上盖插接装配后,探针与相对应的传感器芯片触点接触。
3.根据权利要求2所述的一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:还包括外壳,所述外壳具有开口向上的腔体;所述外壳具有内螺纹,上盖底端具有外螺纹,外壳与上盖螺合固定后,底座限位在上盖与外壳之间形成的容纳腔内。
4.根据权利要求2或3所述的一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:所述凸条有3个,3个凸条不均匀布置在底座外周。
5.根据权利要求2或3所述的一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:所述上盖下表面固定探针的区域向上形成凹陷区域,凹陷区域与进气口、出气口连通。
6.根据权利要求5所述的一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:所述凹陷区域为长槽型,其两端凹陷深度大于中间凹陷深度,以将凹陷区域按照气流方形依次分为进气区域、检测区域、排气区域;进气区域、检测区域、排气区域平滑过渡。
7.根据权利要求1至3任一所述的一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:所述底座的上表面开设有第一限位槽,在第一限位槽内限位有芯片托盘;所述芯片托盘上开设有第二限位槽,每个第二限位槽内限位有一个传感器芯片。
8.根据权利要求7所述的一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:所述第一限位槽和第二限位槽的相对两侧均开设有夹取槽。
9.根据权利要求8所述的一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:所述夹取槽具有导向面,夹子的夹脚沿导向面滑至芯片托盘会传感器芯片的侧边处。
10.根据权利要求1至3任一所述的一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:所述上盖与主板箱电性连接;所述主板箱与外部电源和设备电性连接。
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