[实用新型]一种动态气敏特性检测装置有效
申请号: | 201920052972.3 | 申请日: | 2019-01-11 |
公开(公告)号: | CN209460228U | 公开(公告)日: | 2019-10-01 |
发明(设计)人: | 陈栋梁;周睿颖;荣钱;邹子纯;曹立志;周文建 | 申请(专利权)人: | 合肥微纳传感技术有限公司 |
主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00 |
代理公司: | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人: | 张景云 |
地址: | 230088 安徽省合肥市高新区创新大道2*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传感器芯片 上盖 底座 测试腔 进气口 本实用新型 检测装置 气敏特性 探针 检测 触点接触 待测气体 固定配合 检测信息 排气口排 多通道 排气口 失误率 匹配 | ||
本实用新型提供一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:包括底座、上盖;所述底座上固定有多个传感器芯片;所述上盖上设置有与传感器芯片位置和数量相匹配的探针,以及开设有进气口和排气口;所述上盖和底座固定配合后,探针与相对应的传感器芯片的触点接触,且上盖和底座之间形成测试腔,多个传感器芯片处于测试腔内,待测气体自进气口进入,经过测试腔后从排气口排出。本实用新型优点为:通过多通道的设置,同时对待测气体进行多组检测,能够得到多组检测信息,降低检测失误率,提高检测效果。
技术领域
本实用新型涉及气体传感器气敏特性测试技术领域,具体来说是一种动态气敏特性检测装置。
背景技术
动态气敏特性测试装置一般是令测试气体不断通过含有气体传感器的容器,气体传感器表面有气敏材料,通过在气敏材料表面吸附测试气体及表面反应引起自身电阻的变化,从而检测到目标气体。使用数据采集器进行数据采集并通过电脑完成数据记录和处理,最终完成气体敏感性测试。
现有的动态气敏特性测试装置,利用探针接电结构将探针与芯片触点接触,实现电连接,进而检测气体传感器的电阻。探针接电结构包括四个独立的探针调整装置,围绕在气体传感器放置台的四周,每个探针调整装置需要单独接电,并分别调整一根探针与气体传感器的一个电极触点接触。探针调整装置上设有三个方向调节旋钮,分别旋转三个旋钮,可控制探针沿X轴、Y轴和Z轴方向移动,通过多次调整,最终使探针与传感器的电极触点接触,接通电源后,可实现电连接。
上述结构复杂,价格昂贵,芯片电极与探针对准效率低下,力度不均,操作繁琐。且现有动态气敏测试腔体容积较大,腔体内的气体分布不均匀,检测结果不够精确,测试速度有待进一步提高。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是现有技术中的动态气敏特性测试装置探头与触点对准时效率低下,力度不均,操作繁琐。
本实用新型通过以下技术方案来解决上述技术问题:
一种动态气敏特性检测装置,包括底座、上盖;所述底座上固定有至少一个传感器芯片;所述上盖上设置有与传感器芯片触点的位置和数量相匹配的探针,以及开设有进气口和排气口;所述上盖和底座固定配合后,探针与相对应的传感器芯片的触点接触,且上盖和底座之间形成测试腔,传感器芯片处于测试腔内,待测气体自进气口进入,经过测试腔后从排气口排出。
优选的,所述底座外周壁上竖向设置有凸条,所述上盖底端开口形成容纳底座的腔体,腔体内壁设置有与凸条数量、位置对应的插槽;底座与上盖插接装配后,探针与相对应的传感器芯片触点接触。
优选的,还包括外壳,所述外壳具有开口向上的腔体;所述外壳具有内螺纹,上盖底端具有外螺纹,外壳与上盖螺合固定后,底座限位在上盖与外壳之间形成的容纳腔内。
优选的,所述凸条有3个,3个凸条不均匀布置在底座外周。
优选的,所述上盖下表面固定探针的区域向上形成凹陷区域,凹陷区域与进气口、出气口连通。
优选的,所述凹陷区域为长槽型,其两端凹陷深度大于中间凹陷深度,以将凹陷区域按照气流方形依次分为进气区域、检测区域、排气区域;进气区域、检测区域、排气区域平滑过渡。
优选的,所述底座的上表面开设有第一限位槽,在第一限位槽内限位有芯片托盘;所述芯片托盘上开设有第二限位槽,每个第二限位槽内限位有一个传感器芯片;所述第二限位槽开设有贯穿槽底的通气孔。
优选的,所述第一限位槽和第二限位槽的相对两侧均开设有夹取槽。
优选的,所述夹取槽具有导向面,夹子的夹脚沿导向面滑至芯片托盘会传感器芯片的侧边处。
优选的,所述上盖与主板箱电性连接;所述主板箱与外部电源和设备电性连接。
本实用新型的优点在于:
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