[实用新型]一种具有除尘功能的PECVD下料装置

权利要求书

1.一种具有除尘功能的PECVD下料装置，包括下料本体（1）与机械臂（2），其特征在于：下料本体（1）顶部内壁设置有机械臂（2），机械臂（2）底部外壁设置有连接板（3），连接板（3）底部外壁设置有吸盘（4），下料本体（1）左右两侧中央内壁之间设置有托板（5），托板（5）顶部外壁设置有风刀（6），下料本体（1）左侧底部内壁设置有支撑板，支撑板顶部外壁设置有鼓风机，鼓风机左侧外壁出口与电磁阀连接，电磁阀左侧外壁设置有通风管（8），通风管（8）远离电磁阀的一端与风刀（6）左侧外壁连接，下料本体（1）右侧外壁开设有开槽，下料本体（1）右侧外壁设置有连接管（12），开槽位于连接管（12）的正左侧，连接管（12）远离下料本体（1）的一端与收集箱（13）连接，收集箱（13）左侧外壁与下料本体（1）右侧底部外壁连接，收集箱（13）底部右侧内壁设置有引风机（14），收集箱（13）底部左侧外壁开设有出风口（15），出风口（15）内腔设置有筛网（16）。

2.根据权利要求1所述的一种具有除尘功能的PECVD下料装置，其特征在于：出风口（15）左右两侧内壁均设置有支撑块（20），支撑块（20）底部外壁设置有弹簧（17），弹簧（17）底端与筛网（16）顶部外壁相贴合，收集箱（13）底部外壁设置有两组转轴（18），两组转轴（18）相互靠近的一端均设置有挡块（19），挡块（19）顶部外壁与筛网（16）底部外壁相贴合。

3.根据权利要求1所述的一种具有除尘功能的PECVD下料装置，其特征在于：下料本体（1）右壁开设有滑槽（9），滑槽（9）底端与开槽顶端连接，滑槽（9）顶部内壁设置有支撑弹簧，支撑弹簧底端设置有挡板（10），挡板（10）底端延伸至开槽的内腔并与电生磁装置（11）连接，开槽底部内壁设置有磁块，磁块顶部外壁与电生磁装置（11）底部外壁相贴合。

4.根据权利要求1所述的一种具有除尘功能的PECVD下料装置，其特征在于：收集箱（13）左侧外壁设置有卡块，下料本体（1）与收集箱（13）的连接部位开设有与卡块相匹配的卡槽。

5.根据权利要求2所述的一种具有除尘功能的PECVD下料装置，其特征在于：挡块（19）顶部外壁设置有定位块，筛网（16）底部左右两侧外壁均开设有定位槽，定位块顶端插接在定位槽的内腔，且定位块与定位槽的竖截面均呈半圆形。

6.根据权利要求1所述的一种具有除尘功能的PECVD下料装置，其特征在于：吸盘（4）个数共有八组，且八组吸盘（4）呈矩形阵列排布。