[实用新型]一种具有除尘功能的PECVD下料装置

说明书

本实用新型公开了PECVD下料装置技术领域的一种具有除尘功能的PECVD下料装置，包括下料本体与机械臂，下料本体顶部内壁设置有机械臂，机械臂底部外壁设置有连接板，连接板底部外壁设置有吸盘，下料本体左右两侧中央内壁之间设置有托板，托板顶部外壁设置有风刀，下料本体左侧底部内壁设置有支撑板，支撑板顶部外壁设置有鼓风机，装置中通过引风机工作，将下料本体内部空气抽入到收集箱中，使清理产生的氮化硅粉尘也被吸收到收集箱中，确保氮化硅粉尘不会四处飞溅，使周围环境不被污染，保证工作人员的身体健康。

技术领域

本实用新型涉及PECVD下料装置技术领域，具体为一种具有除尘功能的PECVD下料装置。

背景技术

硅片在传输下料的过程中，硅片的镀膜面会累积大量氮化硅粉尘，需要进行清理，以保证印刷时的质量，然而通过风刀将硅片的氮化硅粉尘吹走时，粉尘会四处飞溅，污染周围的环境，影响人们身体健康，为此，我们提出一种具有除尘功能的PECVD下料装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有除尘功能的PECVD下料装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有除尘功能的PECVD下料装置，包括下料本体与机械臂，下料本体顶部内壁设置有机械臂，机械臂底部外壁设置有连接板，连接板底部外壁设置有吸盘，下料本体左右两侧中央内壁之间设置有托板，托板顶部外壁设置有风刀，下料本体左侧底部内壁设置有支撑板，支撑板顶部外壁设置有鼓风机，鼓风机左侧外壁出口与电磁阀连接，电磁阀左侧外壁设置有通风管，通风管远离电磁阀的一端与风刀左侧外壁连接，下料本体右侧外壁开设有开槽，下料本体右侧外壁设置有连接管，开槽位于连接管的正左侧，连接管远离下料本体的一端与收集箱连接，收集箱左侧外壁与下料本体右侧底部外壁连接，收集箱底部右侧内壁设置有引风机，收集箱底部左侧外壁开设有出风口，出风口内腔设置有筛网。

优选的，出风口左右两侧内壁均设置有支撑块，支撑块底部外壁设置有弹簧，弹簧底端与筛网顶部外壁相贴合，收集箱底部外壁设置有两组转轴，两组转轴相互靠近的一端均设置有挡块，挡块顶部外壁与筛网底部外壁相贴合。

优选的，下料本体右壁开设有滑槽，滑槽底端与开槽顶端连接，滑槽顶部内壁设置有支撑弹簧，支撑弹簧底端设置有挡板，挡板底端延伸至开槽的内腔并与电生磁装置连接，开槽底部内壁设置有磁块，磁块顶部外壁与电生磁装置底部外壁相贴合。

优选的，收集箱左侧外壁设置有卡块，下料本体与收集箱的连接部位开设有与卡块相匹配的卡槽。

优选的，挡块顶部外壁设置有定位块，筛网底部左右两侧外壁均开设有定位槽，定位块顶端插接在定位槽的内腔，且定位块与定位槽的竖截面均呈半圆形。

优选的，吸盘个数共有八组，且八组吸盘呈矩形阵列排布。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.装置中通过引风机工作，将下料本体内部空气抽入到收集箱中，使清理产生的氮化硅粉尘也被吸收到收集箱中，确保氮化硅粉尘不会四处飞溅，使周围环境不被污染，保证工作人员的身体健康；

2.电生磁装置停止工作使磁场消失，通过支撑弹簧扩张，使挡板向下移动将开槽堵住，避免收集箱中收集的粉尘飞出而造成环境污染，同时将挡块从筛网下方转走，通过弹簧扩张，使筛网从出风口处弹出，方便清理筛网，避免筛网堵塞而影响收集箱工作。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型挡块与筛网连接结构示意图。