[实用新型]一种新型磁控溅射导向式泵抽装置

权利要求书

1.一种新型磁控溅射导向式泵抽装置，包括泵壳(1)，其特征是：所述泵壳(1)的内部套有一个圆柱体部件(2)，所述圆柱体部件(2)内焊接式安装有导向槽(3)，所述导向槽(3)从所述圆柱体部件(2)的底端回旋式延伸至顶端，所述导向槽(3)包括柱体(3.1)、凹槽(3.2)、薄膜(3.3)和凸起(3.4)，所述柱体(3.1)由若干个半椭圆型的弧由上至下相互连接组成，所述柱体(3.1)的截面呈棱台状，且底部固定在所述圆柱体部件(2)的内壁上、顶部朝向所述圆柱体部件(2)的中央，所述柱体(3.1)上设有所述凹槽(3.2)，所述凹槽(3.2)呈锯齿状均匀的排列在所述柱体(3.1)的外表面上，所述凹槽(3.2)的外部铺设有一层所述薄膜(3.3)，所述薄膜(3.3)的表面上均匀的设有若干个所述凸起(3.4)，所述圆柱体部件(2)的前端设有圆环(4)，所述圆环(4)设置在所述圆柱体部件(2)的内侧，所述圆环(4)上安装有扇叶(5)。

2.根据权利要求1所述的一种新型磁控溅射导向式泵抽装置，其特征是：所述圆柱体部件(2)的材质为塑料。

3.根据权利要求1所述的一种新型磁控溅射导向式泵抽装置，其特征是：所述导向槽(3)的材质为塑料。

4.根据权利要求1所述的一种新型磁控溅射导向式泵抽装置，其特征是：所述薄膜(3.3)的材质为磨砂塑料膜。

5.根据权利要求1所述的一种新型磁控溅射导向式泵抽装置，其特征是：所述圆柱体部件(2)和所述泵壳(1)之间留有缝隙。

6.根据权利要求1所述的一种新型磁控溅射导向式泵抽装置，其特征是：所述凸起(3.4)的形状为圆点状。

7.根据权利要求1所述的一种新型磁控溅射导向式泵抽装置，其特征是：所述薄膜(3.3)通过胶水固定在所述柱体(3.1)上。