[实用新型]一种新型磁控溅射导向式泵抽装置

说明书

本申请公开了一种新型磁控溅射导向式泵抽装置，包括泵壳，所述泵壳的内部套有一个圆柱体部件，所述圆柱体部件内焊接式安装有导向槽，所述导向槽从所述圆柱体部件的底端回旋式延伸至顶端，所述导向槽包括柱体、凹槽、薄膜和凸起，所述柱体上设有所述凹槽，所述凹槽呈锯齿状均匀的排列在所述柱体的外表面上，所述凹槽的外部铺设有一层所述薄膜，所述薄膜的表面上均匀的设有若干个所述凸起，所述圆柱体部件的前端设有圆环，所述圆环设置在所述圆柱体部件的内侧，所述圆环上安装有扇叶。本申请的上述技术方案采用内回旋设计形式，并设置多种增加阻力的结构，以增加泵抽流阻，在保证工艺真空的前提下减少对工艺气体的扰动与捕集，起到稳定工艺的目的。

技术领域

本公开一般涉及磁控溅射工艺领域，具体涉及一种新型磁控溅射导向式泵抽装置。

背景技术

磁控溅射原理是电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片，氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜。

在阴极附近需要维持工艺真空，因此需要采用高真空泵抽真空获得，但如果直接将真空泵作用于该区域，由于泵组抽速较大，会导致正常工艺气体被大量带走，影响镀膜工艺稳定。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种新型磁控溅射导向式泵抽装置，可以增加泵抽流阻，使工艺更稳定。

根据本申请实施例提供的技术方案，一种新型磁控溅射导向式泵抽装置，包括泵壳，所述泵壳的内部套有一个圆柱体部件，所述圆柱体部件内焊接式安装有导向槽，所述导向槽从所述圆柱体部件的底端回旋式延伸至顶端，所述导向槽包括柱体、凹槽、薄膜和凸起，所述柱体由若干个半椭圆型的弧由上至下相互连接组成，所述柱体的截面呈棱台状，且底部固定在所述圆柱体部件的内壁上、顶部朝向所述圆柱体部件的中央，所述柱体上设有所述凹槽，所述凹槽呈锯齿状均匀的排列在所述柱体的外表面上，所述凹槽的外部铺设有一层所述薄膜，所述薄膜的表面上均匀的设有若干个所述凸起，所述圆柱体部件的前端设有圆环，所述圆环设置在所述圆柱体部件的内侧，所述圆环上安装有扇叶。

本实用新型中，所述圆柱体部件的材质为塑料。

本实用新型中，所述导向槽的材质为塑料。

本实用新型中，所述薄膜的材质为磨砂塑料膜。

本实用新型中，所述圆柱体部件和所述泵壳之间留有缝隙。

本实用新型中，所述凸起的形状为圆点状。

本实用新型中，所述薄膜通过胶水固定在所述柱体上。

综上所述，本申请的上述技术方案采用内回旋设计形式，并设置多种增加阻力的结构，以增加泵抽流阻，在保证工艺真空的前提下减少对工艺气体的扰动与捕集，起到稳定工艺的目的。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中导向槽的结构示意图；

图3为本实用新型中圆柱体部件的内部示意图。

图中标号：泵壳-1；圆柱体部件-2；导向槽-3；柱体-3.1；凹槽-3.2；薄膜-3.3；凸起-3.4；圆环-4；扇叶-5。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。