[实用新型]一种十字关节浮动结构及应用其的抛光机有效
申请号: | 201920065025.8 | 申请日: | 2019-01-15 |
公开(公告)号: | CN209551457U | 公开(公告)日: | 2019-10-29 |
发明(设计)人: | 洪志清;吴明森;李健飞 | 申请(专利权)人: | 东莞金研精密研磨机械制造有限公司 |
主分类号: | B24B41/00 | 分类号: | B24B41/00;B24B37/34;B24B37/27 |
代理公司: | 深圳市合道英联专利事务所(普通合伙) 44309 | 代理人: | 廉红果;苏景林 |
地址: | 523000 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 外轴套 中间轴套 内轴套 本实用新型 动力源 抛光机 转动 浮动结构 十字关节 同心设置 抛光头 法兰 抛头 载物 互相垂直 抛光晶圆 转动配合 偏移 平滑 晶圆 转轴 垂直 震动 加工 应用 保证 | ||
1.一种十字关节浮动结构,设于抛光机的抛头动力源和载物法兰之间,其特征在于:包括内销组件、外销组件、同心设置的内轴套、中间轴套和外轴套,所述内轴套通过所述的内销组件与所述的中间轴套相连且相对所述的中间轴套转动,所述的外轴套通过所述的外销组件与所述的中间轴套相连且相对所述的中间轴套转动。
2.根据权利要求1所述的一种十字关节浮动结构,其特征在于:所述内销组件设有两组,每组内销组件包括有内销轴和内锁止销,所述内销轴的一端通过所述内锁止销与所述内轴套连接,并且另一端在所述中间轴套的内侧与其转动配合;两组所述内销组件对称设置。
3.根据权利要求1或2所述的一种十字关节浮动结构,其特征在于:所述外销组件设有的两组,每组外销组件包括外销轴和外锁止销,所述外销轴的一端通过所述外锁止销与所述中间轴套固定连接,并且另一端设在所述外轴套的内侧与其转动配合;两组所述外销组件对称设置。
4.根据权利要求3所述的一种十字关节浮动结构,其特征在于:所述内销组件和外销组件还分别包括两组轴承,所述轴承的固定部嵌套设置在所述中间轴套的中部,所述轴承的活动部分别与两组所述外销轴和两组内销轴固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种十字关节浮动结构,其特征在于:所述轴承的活动部内侧设置有若干凹陷,所述外销轴的外侧设置有若干与所述凹陷位置相对应的凸起,所述外销轴通过所述凸起和所述凹陷与所述轴承的活动部卡接配合。
6.根据权利要求5所述的一种十字关节浮动结构,其特征在于:所述外销轴和内销轴的端部还设置有环形垫片,所述环形垫片设置在所述中间轴套和外轴套之间,并且与所述中间轴套抵接。
7.根据权利要求6所述的一种十字关节浮动结构,其特征在于:所述外轴套的内侧设置有凹位,所述内销轴的一端设置在所述凹位当中。
8.一种抛光机,其特征在于:包括权利要求1至7任意一项所述十字关节浮动结构,所述内轴套与抛头动力源固定连接,所述外轴套与所述载物法兰固定连接。
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