[实用新型]一种十字关节浮动结构及应用其的抛光机

说明书

本实用新型公开了一种十字关节浮动结构，用于设置在抛光机的抛头动力源和载物法兰之间，包括同心设置的内轴套、中间轴套和外轴套，所述内轴套和外轴套分别与中间轴套转动配合，并且所述内轴套和外轴套的转轴互相垂直。本实用新型还公开了一种抛光机。本实用新型通过同心设置的内轴套和外轴套，分别绕所述中间轴套转动，并且转动的轴线相互垂直，使得抛光头动力源和载物法兰之间通过中间轴套和外轴套相对于抛光头动力源的转动，实现平滑的360度偏移，避免抛头抛光晶圆的过程当中，出现震动，以保证晶圆的加工品质。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工精密抛光机领域，具体涉及一种十字关节浮动结构及应用其的抛光机。

背景技术

半导体芯片的加工原材料为硅，硅在提纯和加工之后形成硅晶圆，而加工过程之一就是对切片的硅晶圆进行抛光，使得其表面尽量光滑，而对晶圆的抛光工作，精度要求较高，通常是在微米级。现有的抛光机通常是将晶圆固定在载盘法兰之上，并且在抛光头的打磨下，实现抛光。在在抛光的过程当中如果因为抛光头和载盘法兰之间的连接件无法平稳的转动，使得抛头或载盘法兰出现震动，晶圆就会出现震动，细小的震动也将导致其抛光过程出现抖动，造成产品品质无法保证。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供了一种十字关节浮动结构及应用其的抛光机，能够使抛光机传动抛头和载物法兰之间传动平稳移动灵活。

为实现上述目的，本实用新型所采取的技术方案是：

一种十字关节浮动结构，设于抛光机的抛头动力源和载物法兰之间，包括内销组件、外销组件、同心设置的内轴套、中间轴套和外轴套，所述内轴套通过所述的内销组件与所述的中间轴套相连且相对所述的中间轴套转动，所述的外轴套通过所述的外销组件与所述的中间轴套相连且相对所述的中间轴套转动。

进一步地，所述内销组件设有两组，每组内销组件包括有内销轴和内锁止销，所述内销轴的一端通过所述内锁止销与所述内轴套连接，并且另一端在所述中间轴套的内侧与其转动配合；两组所述内销组件对称设置。

进一步地，所述外销组件设有的两组，每组外销组件包括外销轴和外锁止销，所述外销轴的一端通过所述外锁止销与所述中间轴套固定连接，并且另一端设在所述外轴套的内侧与其转动配合；两组所述外销组件对称设置。

进一步地，所述内销组件和外销组件还分别包括两组轴承，所述轴承的固定部嵌套设置在所述中间轴套的中部，所述轴承的活动部分别与两组所述外销轴和两组内销轴固定连接。

进一步地，所述轴承的活动部内侧设置有若干凹陷，所述外销轴的外侧设置有若干与所述凹陷位置相对应的凸起，所述外销轴通过所述凸起和所述凹陷与所述轴承的活动部卡接配合。

进一步地，所述外销轴和内销轴的端部还设置有环形垫片，所述环形垫片设置在所述中间轴套和外轴套之间，并且与所述中间轴套抵接。

进一步地，所述外轴套的内侧设置有凹位，所述内销轴的一端设置在所述凹位当中。

本实用新型还公开了一种抛光机，包括上述十字关节浮动结构，所述内轴套与抛头动力源固定连接，所述外轴套与所述载物法兰固定连接。

采用上述技术方案后，装配后，本实用新型通过同心设置的内轴套和外轴套，分别绕所述中间轴套转动，并且转动的轴线相互垂直，使得抛光头动力源和载物法兰之间通过中间轴套和外轴套相对于抛光头动力源的转动，实现平滑的360度偏移，避免抛头抛光晶圆的过程当中，出现震动，以保证晶圆的加工品质。用于抛光机传动抛头和载盘法兰之间的十字关节浮动结构。

附图说明

图1是本实用新型的机构示意图。

图2是本实用新型的剖视图一。

图3是本实用新型的俯视图。

图4是本实用新型的剖视图二。