[实用新型]一种真空镀膜机的基材旋转装置

权利要求书

1.一种真空镀膜机的基材旋转装置，包括固定在镀膜室外部的伺服电机，其特征在于：所述伺服电机驱动第一固定杆在所述镀膜室内部转动，所述第一固定杆的端部固定有第一锥形齿轮，所述镀膜室内部的顶面固定有两根支撑杆，两根所述支撑杆的底端共同固定在保护箱外部，所述第一锥形齿轮在所述保护箱内部转动，所述保护箱上开设有供第一固定杆穿过的避让口，所述保护箱上还转动连接有若干个第二固定杆，所述第二固定杆在位于所述保护箱内部的一端固定有第二锥形齿轮，所述第一锥形齿轮和所述第二锥形齿轮之间相互啮合，所述第二固定杆在远离所述第二锥形齿轮的一端设置有用于固定待镀膜基材的基材固定部。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的基材旋转装置，其特征在于：所述基材固定部包括匚字形板、第一压板、螺杆、第二压板和弹簧，所述匚字形板固定在所述第二固定杆远离所述第二锥形齿轮的一端，所述匚字形板的开口内滑移连接有第一压板，所述匚字形板上还螺纹连接有螺杆，所述螺杆的一端转动连接在所述第一压板内，所述匚字形板的开口处通过若干个所述弹簧连接有所述第二压板。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的基材旋转装置，其特征在于：所述镀膜室内通过密封轴承转动连接有第三固定杆，所述伺服电机驱动所述第三固定杆转动，所述第一固定杆端部开设有供所述第三固定杆插入的凹槽，所述第一固定杆和所述第三固定杆之间共同开设有供螺柱螺入的螺孔，所述螺柱的两端分别螺纹连接有螺纹环套。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机的基材旋转装置，其特征在于：所述第一固定杆和所述第三固定杆之间通过键进行定位。

5.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机的基材旋转装置，其特征在于：所述第一压板和所述第二压板在相互靠近的一面分别固定有一层软垫。

6.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机的基材旋转装置，其特征在于：所述第一压板上固定有滑块，所述匚字形内开设有供所述滑块滑动的滑槽。

7.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机的基材旋转装置，其特征在于：所述伺服电机和所述第三固定杆之间设置有减速器，所述减速器的输入端与所述伺服电机的电机轴端部连接，所述减速器的输出端与所述第三固定杆端部连接。

8.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机的基材旋转装置，其特征在于：所述螺杆的外部还螺纹连接有锁紧螺母。