[实用新型]一种真空镀膜机的基材旋转装置

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜机的基材旋转装置，其技术方案要点是：包括固定在所述镀膜室外部的伺服电机，所述伺服电机驱动第一固定杆在所述镀膜室内部转动，所述第一固定杆的端部固定有第一锥形齿轮，所述镀膜室内部的顶面固定有两根支撑杆，两根所述支撑杆的底端共同固定在保护箱外部，所述保护箱上还转动连接有若干个第二固定杆，所述第二固定杆在位于所述保护箱内部的一端固定有第二锥形齿轮，所述第二固定杆在远离所述第二锥形齿轮的一端设置有用于固定待镀膜基材的基材固定部，利用真空镀膜机的基材旋转装置能够带动基材翻转，在基材被镀膜一面之后可以方便将基材翻转到另一面进行真空镀膜，节省了操作的工序。

技术领域

本实用新型涉及一种夹具，特别涉及一种真空镀膜机的基材旋转装置。

背景技术

真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术。在真空沉积腔室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物(称靶材)进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基材)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。

在真空镀膜的过程中，基材会在真空镀膜室内被镀膜，为了使得基材表面的膜层均匀与一致，需要调整基材的位置。当对基材进行双面镀膜时，现有的做法是先镀膜其中一面，之后将基材再取出翻转至另一面进行镀膜，这种做法较为麻烦。

实用新型内容

针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供一种真空镀膜机的基材旋转装置，以解决背景技术中提到的问题。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种真空镀膜机的基材旋转装置，包括固定在所述镀膜室外部的伺服电机，所述伺服电机驱动第一固定杆在所述镀膜室内部转动，所述第一固定杆的端部固定有第一锥形齿轮，所述镀膜室内部的顶面固定有两根支撑杆，两根所述支撑杆的底端共同固定在保护箱外部，所述第一锥形齿轮在所述保护箱内部转动，所述保护箱上开设有供第一固定杆穿过的避让口，所述保护箱上还转动连接有若干个第二固定杆，所述第二固定杆在位于所述保护箱内部的一端固定有第二锥形齿轮，所述第一锥形齿轮和所述第二锥形齿轮之间相互啮合，所述第二固定杆在远离所述第二锥形齿轮的一端设置有用于固定待镀膜基材的基材固定部。

通过采用上述技术方案，利用真空镀膜机的基材旋转装置能够带动基材翻转，在基材被镀膜一面之后可以方便将基材翻转到另一面进行真空镀膜，节省了操作的工序；利用装置中的基材固定部可以将基材牢靠的固定；当启动伺服电机时将带动第一固定杆在镀膜室内转动，能够带动第一锥形齿轮转动，通过第一锥形齿轮与第二锥形齿轮的啮合能够带动第二锥形齿轮转动，从而能够带动第二固定杆转动，能够带动第二固定杆端部中基材固定部固定的基材翻转。

较佳的，所述基材固定部包括匚字形板、第一压板、螺杆、第二压板和弹簧，所述匚字形板固定在所述第二固定杆远离所述第二锥形齿轮的一端，所述匚字形板的开口内滑移连接有第一压板，所述匚字形板上还螺纹连接有螺杆，所述螺杆的一端转动连接在所述第一压板内，所述匚字形板的开口处通过若干个所述弹簧连接有所述第二压板。

通过采用上述技术方案，当需要固定基材时，可以将基材卡在第一压板和第二压板之间，在弹簧的弹力作用下将会使得第二压板靠近第一压板将其压紧，拧紧匚字形板上螺纹连接的螺杆能够带动第一压板向第二压板靠近，能够将基材牢靠的固定，操作也较为方便。

较佳的，所述镀膜室内通过密封轴承转动连接有第三固定杆，所述伺服电机驱动所述第三固定杆转动，所述第一固定杆端部开设有供所述第三固定杆插入的凹槽，所述第一固定杆和所述第三固定杆之间共同开设有供螺柱螺入的螺孔，所述螺柱的两端分别螺纹连接有螺纹环套。