[实用新型]一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置

权利要求书

1.一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置，包括加工台、加工台上端安装的切片机和喷液机，其特征在于：所述切片机的下方设有废液收集槽，所述废液收集槽的下端通过进液管贯通连接有回收处理装置，且回收处理装置位于加工台的下端，所述回收处理装置的输出端通过回流管与喷液机相连接；

所述回收处理装置包括废液箱，且废液箱通过进液管与废液收集槽的下端贯通连接，所述废液箱上插设有输出管，且输出管位于废液箱内腔的一段上安装有液体泵，输出管的另一端连接有过滤组件，所述过滤组件的另一侧通过第一连接管贯通连接有沉淀组件，所述沉淀组件通过第二连接管连接有曝气组件，所述曝气组件的侧壁上部通过出液管贯通连接有回流箱，所述回流箱通过回流管与喷液机的输入端相连接。

2.如权利要求1所述的一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置，其特征在于：所述过滤组件包括过滤箱，所述过滤箱的内腔上部倾斜安装有过滤网板，所述过滤网板的上端滑动安装有刮板，且刮板通过电动推杆安装在过滤箱的侧壁上，所述过滤箱的后端安装有粉体收集箱，且粉体收集箱的前壁上开设有贯穿过滤箱后壁的排灰孔，所述排灰孔的下端口与过滤网板的上端口齐平。

3.如权利要求1-2中任一项所述的一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置，其特征在于：所述沉淀组件包括沉淀箱，所述沉淀箱的下端贯通安装有多个出泥支管，且出泥支管的另一端安装在同一个出泥总管上，所述出泥总管安装在污泥泵的输入端上，且污泥泵的输出端上安装有输泥管，所述输泥管的另一端贯通安装在粉体收集箱的侧壁上部。

4.如权利要求1所述的一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置，其特征在于：所述曝气组件包括曝气箱，所述曝气箱的内腔下端平行设有多个曝气支管，且曝气支管上安装有多个气嘴，多个所述曝气支管的一端均到达曝气箱的外腔并安装在同一个曝气总管上，所述曝气总管上安装有气泵。

5.如权利要求3所述的一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置，其特征在于：所述沉淀箱的内腔下部为向内倾斜的倒台型结构。

6.如权利要求2所述的一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置，其特征在于：所述过滤网板与过滤箱内壁之间的倾斜夹角为45°至60°。

7.如权利要求2所述的一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置，其特征在于：所述粉体收集箱的侧壁下部开设有排粉口，且排粉口上安装有夹管阀。