[实用新型]一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置有效

专利信息
申请号: 201920081403.1 申请日: 2019-01-17
公开(公告)号: CN209794247U 公开(公告)日: 2019-12-17
发明(设计)人: 李广森 申请(专利权)人: 安徽华顺半导体发展有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/00
代理公司: 34141 合肥汇融专利代理有限公司 代理人: 张雁
地址: 239300 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 回收处理装置 本实用新型 废液收集槽 加工台 喷液机 切片机 下端 多晶硅片 贯通连接 加工设备 人力物力 线切割液 直接排放 多晶硅 回流管 进液管 输出端 废液 切割 加工
【说明书】:

实用新型涉及多晶硅加工设备技术领域,具体涉及一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置,包括加工台、加工台上端安装的切片机和喷液机,所述切片机的下方设有废液收集槽,所述废液收集槽的下端通过进液管贯通连接有回收处理装置,且回收处理装置位于加工台的下端,所述回收处理装置的输出端通过回流管与喷液机相连接。本实用新型克服了现有技术的不足,设计合理,结构紧凑,有效的解决了切割后的废液无法直接使用,处理需要耗费大量的人力物力,得不偿失,直接排放则会造成资源浪费的问题。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅加工设备技术领域,具体涉及一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置。

背景技术

多晶硅,是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。

现有的太阳能电池用多晶硅是由多晶硅铸锭炉生产出来多晶硅锭并对多晶硅锭进行去头尾并切片成型为多晶硅片,并对多晶硅片进行再加工得到了,多晶硅铸在切割过程中会使用具有润滑及冷却作用的切割液,以降低切割过程中的机械应力和热应力损害,然而,多晶硅铸在切割后,大量的切割废液和切削损失的硅粉、锯线金属等物质混合后排出,这部分的废液无法直接使用,然而现有的企业在处理切削废液时需要耗费大量的人力物力,得不偿失,直接排放则会造成资源的浪费。

为此,我们提出了一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置,克服了现有技术的不足,设计合理,结构紧凑,有效的解决了切割后的废液无法直接使用,处理需要耗费大量的人力物力,得不偿失,直接排放则会造成资源浪费的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:

一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置,包括加工台、加工台上端安装的切片机和喷液机,所述切片机的下方设有废液收集槽,所述废液收集槽的下端通过进液管贯通连接有回收处理装置,且回收处理装置位于加工台的下端,所述回收处理装置的输出端通过回流管与喷液机相连接;

所述回收处理装置包括废液箱,且废液箱通过进液管与废液收集槽的下端贯通连接,所述废液箱上插设有输出管,且输出管位于废液箱内腔的一段上安装有液体泵,输出管的另一端连接有过滤组件,所述过滤组件的另一侧通过第一连接管贯通连接有沉淀组件,所述沉淀组件通过第二连接管连接有曝气组件,所述曝气组件的侧壁上部通过出液管贯通连接有回流箱,所述回流箱通过回流管与喷液机的输入端相连接。

进一步的,所述过滤组件包括过滤箱,所述过滤箱的内腔上部倾斜安装有过滤网板,所述过滤网板的上端滑动安装有刮板,且刮板通过电动推杆安装在过滤箱的侧壁上,所述过滤箱的后端安装有粉体收集箱,且粉体收集箱的前壁上开设有贯穿过滤箱后壁的排灰孔,所述排灰孔的下端口与过滤网板的上端口齐平。

进一步的,所述沉淀组件包括沉淀箱,所述沉淀箱的下端贯通安装有多个出泥支管,且出泥支管的另一端安装在同一个出泥总管上,所述出泥总管安装在污泥泵的输入端上,且污泥泵的输出端上安装有输泥管,所述输泥管的另一端贯通安装在粉体收集箱的侧壁上部。

进一步的,所述曝气组件包括曝气箱,所述曝气箱的内腔下端平行设有多个曝气支管,且曝气支管上安装有多个气嘴,多个所述曝气支管的一端均到达曝气箱的外腔并安装在同一个曝气总管上,所述曝气总管上安装有气泵。

进一步的,所述沉淀箱的内腔下部为向内倾斜的倒台型结构。

进一步的,所述过滤网板与过滤箱内壁之间的倾斜夹角为45°至60°。

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