[实用新型]一种晶圆放置盘中到位检测装置有效
| 申请号： | 201920089117.X | 申请日： | 2019-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN209542485U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 薛刚 | 申请（专利权）人： | 上海福赛特机器人有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/952 | 分类号： | G01N21/952 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龙;张磊 |
| 地址： | 200233 上海市徐汇区虹梅*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆 视觉检测模块 对比度图像 到位检测装置 本实用新型 放置盘 种晶 检测 侧向 图像分析模块 黑白对比度 垂直照明 高效检测 技术效果 视觉设备 高像素 碳化硅 一次性 圆形槽 打光 光源 半导体 运算 样本 自动化 外围 | ||
1.一种晶圆放置盘中到位检测装置，其特征在于，包括：
视觉检测模块，设于盘的上方，用于获取所述盘和所述盘上放置的晶圆之间的对比度图像；
光源，设于所述视觉检测模块与所述盘之间，用于提供获取所述对比度图像时的垂直照明及侧向打光；
图像分析模块，连接所述视觉检测模块，用于将所述对比度图像与样本图例进行对比及运算，判断所述晶圆是否完全放置到位。
2.根据权利要求1所述的晶圆放置盘中到位检测装置，其特征在于，所述光源包括一垂直照明光源，以及一对位于其下方的第一侧向打光光源和第二侧向打光光源；其中，所述垂直照明光源提供垂直朝向所述盘表面的照明光，所述第一侧向打光光源和第二侧向打光光源分别从所述盘的两个水平正交方向提供侧向的打光。
3.根据权利要求2所述的晶圆放置盘中到位检测装置，其特征在于，所述垂直照明光源为同轴光照明光源。
4.根据权利要求3所述的晶圆放置盘中到位检测装置，其特征在于，所述同轴光照明光源为环形灯。
5.根据权利要求2所述的晶圆放置盘中到位检测装置，其特征在于，所述第一侧向打光光源和第二侧向打光光源为条形灯，两个所述条形灯按水平正交方向设置。
6.根据权利要求2所述的晶圆放置盘中到位检测装置，其特征在于，所述视觉检测模块、垂直照明光源和第一侧向打光光源设于一第一支架上，所述第二侧向打光光源设于一第二支架上。
7.根据权利要求2-6任一所述的晶圆放置盘中到位检测装置，其特征在于，所述第一侧向打光光源和第二侧向打光光源相对于所述盘表面的位置可调。
8.根据权利要求1所述的晶圆放置盘中到位检测装置，其特征在于，所述视觉检测模块为相机。
9.根据权利要求1所述的晶圆放置盘中到位检测装置，其特征在于，所述视觉检测模块为投影仪。
10.根据权利要求1所述的晶圆放置盘中到位检测装置，其特征在于，所述盘上放置有多个晶圆。
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