[实用新型]一种晶圆放置盘中到位检测装置

说明书

本实用新型公开了一种晶圆放置盘中到位检测装置，包括：视觉检测模块，设于盘的上方，用于获取所述盘和所述盘上放置的晶圆之间的对比度图像；光源，设于所述视觉检测模块与所述盘之间，用于提供获取所述对比度图像时的垂直照明及侧向打光；图像分析模块，连接所述视觉检测模块，用于将所述对比度图像与样本图例进行对比及运算，判断所述晶圆是否完全放置到位。本实用新型通过高像素高精度视觉设备精准检测碳化硅盘中圆形槽位外围的黑白对比度，来判断晶圆有无完全到位，可一次性高效检测晶圆有无到位，整个检测方式在半导体自动化放置晶圆中起到了快速高效精准检测的有益技术效果。

技术领域

本实用新型涉及半导体行业晶圆自动化制程中检测设备技术领域，更具体地，涉及一种用于检测晶圆放置盘中时是否到位的视觉检测装置。

背景技术

在半导体行业中，晶圆需要精准放置到碳化硅盘的槽位中，之后需要将装满晶圆的碳化硅盘整体放置到氮化铝设备中进行镀膜工艺。如果晶圆没有完全放置到盘的槽位中，就会在镀膜工艺时出现镀膜不均匀和晶圆开裂的情况，这样就将导致经济上的直接损失。

因此，需要设计一种新型的视觉检测晶圆放置盘中到位装置，以检测晶圆有无完全放置到位。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种晶圆放置盘中到位检测装置，可以视觉检测方式一次性精准高效地检测晶圆放置到盘中时是否完全到位。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种晶圆放置盘中到位检测装置，包括：

视觉检测模块，设于盘的上方，用于获取所述盘和所述盘上放置的晶圆之间的对比度图像；

光源，设于所述视觉检测模块与所述盘之间，用于提供获取所述对比度图像时的垂直照明及侧向打光；

图像分析模块，连接所述视觉检测模块，用于将所述对比度图像与样本图例进行对比及运算，判断所述晶圆是否完全放置到位。

进一步地，所述光源包括一垂直照明光源，以及一对位于其下方的第一侧向打光光源和第二侧向打光光源；其中，所述垂直照明光源提供垂直朝向所述盘表面的照明光，所述第一侧向打光光源和第二侧向打光光源分别从所述盘的两个水平正交方向提供侧向的打光。

进一步地，所述垂直照明光源为同轴光照明光源。

进一步地，所述同轴光照明光源为环形灯

进一步地，所述第一侧向打光光源和第二侧向打光光源为条形灯，两个所述条形灯按水平正交方向设置。

进一步地，所述视觉检测模块、垂直照明光源和第一侧向打光光源设于一第一支架上，所述第二侧向打光光源设于一第二支架上。

进一步地，所述第一侧向打光光源和第二侧向打光光源相对于所述盘表面的位置可调。

进一步地，所述视觉检测模块为相机。

进一步地，所述视觉检测模块为投影仪。

进一步地，所述盘上放置有多个晶圆。

从上述技术方案可以看出，本实用新型通过高像素高精度视觉设备精准检测碳化硅盘中圆形槽位外围的黑白对比度(通常碳化硅盘为墨黑色，晶圆为白色)，来判断晶圆有无完全到位，碳化硅盘放满晶圆后，即可通过视觉设备一次性高效检测晶圆有无到位，整个检测方式在半导体自动化放置晶圆中起到了快速高效精准检测的有益技术效果。

附图说明

图1是本实用新型一较佳实施例的一种晶圆放置盘中到位检测装置结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。