[实用新型]蒸镀单元及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201920091609.2 | 申请日： | 2019-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN209722278U | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 李灏;罗志忠 | 申请（专利权）人： | 云谷(固安)科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 44224 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 唐清凯<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀 角度限制件 蒸镀源 本实用新型 线性方向 蒸镀材料 蒸镀基板 蒸镀装置 附着 射出 应用 | ||
1.一种蒸镀单元，其特征在于，所述蒸镀单元包括：
线性蒸镀源，用于向待蒸镀基板射出蒸镀颗粒；以及
角度限制件，用于限制蒸镀颗粒的通过角度；所述角度限制件位于所述线性蒸镀源沿蒸镀方向的一侧，且所述角度限制件可沿所述线性蒸镀源的线性方向为轴心旋转。
2.根据权利要求1所述的蒸镀单元，其特征在于，所述角度限制件的个数为两个，分别为第一角度限制件和第二角度限制件，所述第一角度限制件和所述第二角度限制件分别位于所述线性蒸镀源的两侧。
3.根据权利要求2所述的蒸镀单元，其特征在于，所述第一角度限制件与所述第二角度限制件向外异向旋转。
4.根据权利要求1所述的蒸镀单元，其特征在于，所述角度限制件上设有若干个用于收集蒸镀材料的蒸镀材料附着槽。
5.根据权利要求4所述的蒸镀单元，其特征在于，若干个所述蒸镀材料附着槽的开口面积的和与所述角度限制件的表面积的比值为1:1.2～1:1.5。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的蒸镀单元，其特征在于，所述角度限制件呈筒状。
7.根据权利要求1所述的蒸镀单元，其特征在于，所述蒸镀单元还包括位于所述线性蒸镀源与所述角度限制件之间的挡板。
8.一种蒸镀装置，其特征在于，包括如权利要求1～7中任一项所述的蒸镀单元。
9.根据权利要求8所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括蒸镀单元组，所述蒸镀单元组包括至少两个所述蒸镀单元。
10.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其特征在于，至少两个所述蒸镀单元沿线性排列，且相邻两个所述蒸镀单元的高度不同。
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