[实用新型]蒸镀单元及蒸镀装置

说明书

本实用新型涉及一种蒸镀单元及蒸镀装置。蒸镀单元包括：线性蒸镀源，用于向待蒸镀基板射出蒸镀颗粒；以及角度限制件，用于限制蒸镀颗粒的通过角度；角度限制件位于线性蒸镀源沿蒸镀方向的一侧，且角度限制件可沿线性蒸镀源的线性方向为轴心旋转。应用本实用新型技术方案的蒸镀单元，由于角度限制件可沿线性蒸镀源的线性方向为轴心旋转，因此能够增加蒸镀材料在角度限制件上的附着面积，延长了对线性蒸镀源进行清理的时间，从而提高蒸镀效率。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀技术领域，特别是涉及一种蒸镀单元及蒸镀装置。

背景技术

有机电致发光显示器是一种基于有机电致发光材料的电流型半导体发光器件，其主要依靠金属电极向发光层施加一定的电压，使发光层中的有机电致发光材料发光，从而实现图像响应。它具有自主发光、高对比度、广视角、快速响应等特性，而被誉为下一代“梦幻显示器”。

制作有机电致发光显示器时，一般利用线性蒸镀源蒸镀工艺将有机电致发光材料或者金属材料蒸镀到目标基板上，以制作其中的发光层或者电极。然而，采用传统的线性蒸镀源进行蒸镀时，角度限制板上会积累大量蒸镀材料，影响成膜的均一性，因此需要定时对线性蒸镀源进行清理，从而影响了蒸镀效率。

实用新型内容

基于此，有必要针对如何提高蒸镀效率的问题，提供一种能够提高蒸镀效率的蒸镀单元及蒸镀装置。

一种蒸镀单元，所述蒸镀单元包括：

线性蒸镀源，用于向待蒸镀基板射出蒸镀颗粒；以及

角度限制件，用于限制蒸镀颗粒的通过角度；所述角度限制件位于所述线性蒸镀源沿蒸镀方向的一侧，且所述角度限制件可沿所述线性蒸镀源的线性方向为轴心旋转。

在其中一个实施例中，所述角度限制件的个数为两个，分别为第一角度限制件和第二角度限制件，所述第一角度限制件和所述第二角度限制件分别位于所述线性蒸镀源的两侧。

在其中一个实施例中，所述第一角度限制件与所述第二角度限制件可向外异向旋转。

在其中一个实施例中，所述角度限制件上设有若干个用于收集蒸镀材料的蒸镀材料附着槽。

在其中一个实施例中，若干个所述蒸镀材料附着槽的开口面积与所述角度限制件的表面积的比值为1:1.2～1:1.5。

在其中一个实施例中，所述角度限制件呈筒状。

在其中一个实施例中，所述蒸镀单元还包括位于所述线性蒸镀源与所述角度限制件之间的挡板。

此外，还提供一种蒸镀装置，包括上述的蒸镀单元。

在其中一个实施例中，所述蒸镀装置包括蒸镀单元组，所述蒸镀单元组包括至少两个所述蒸镀单元。

在其中一个实施例中，至少两个所述蒸镀单元沿线性排列，且相邻两个所述蒸镀单元的高度不同。

应用本实用新型技术方案的蒸镀单元，由于角度限制件可沿线性蒸镀源的线性方向为轴心旋转，因此能够增加蒸镀材料在角度限制件上的附着面积，延长了对线性蒸镀源进行清理的时间，从而提高蒸镀效率。

附图说明

图1为本实用新型一实施方式的蒸镀单元的平面示意图；

图2为本实用新型一实施方式的蒸镀单元的立体示意图；

图3为本实用新型一实施方式的蒸镀装置的平面示意图。

具体实施方式