[实用新型]一种热丝CVD化学气相沉积纳米金刚石涂层装置有效
| 申请号： | 201920093093.5 | 申请日： | 2019-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN209685909U | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 葛强;李万春;郭乃祝 | 申请（专利权）人： | 珠海中纳金刚石有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/448;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 俞梁清<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 519000 广东省珠海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 热丝 内孔 排布 纳米金刚石涂层 模具 化学气相沉积 本实用新型 模具固定架 水平横向 水平纵向 穿过 镀膜设备 加热区域 竖向排布 纵向排布 热丝CVD 成品率 楔形槽 容置 衰减 圆度 保证 | ||
1.一种热丝CVD化学气相沉积纳米金刚石涂层装置，包括有基座(1)、设置在基座(1)上的模具固定架(2)以及设置在基座(1)上方的热丝，其特征在于，所述热丝分为沿水平横向排布的第一热丝(4)、沿水平纵向排布的第二热丝(5)以及沿竖向排布的第三热丝(6)，所述第一热丝(4)能够穿过模具(3)的内孔，所述模具固定架(2)上设置有能够容置模具(3)的V形槽或楔形槽。
2.根据权利要求1所述的一种热丝CVD化学气相沉积纳米金刚石涂层装置，其特征在于，还包括有分设在模具(3)固定左右侧、前后侧以及上下侧的热丝固定架，热丝的两端分别固定在热丝固定架上。
3.根据权利要求2所述的一种热丝CVD化学气相沉积纳米金刚石涂层装置，其特征在于，所述热丝固定架包括有弹簧定位架(7)以及压片定位架(8)。
4.根据权利要求3所述的一种热丝CVD化学气相沉积纳米金刚石涂层装置，其特征在于，所述压片定位架(8)包括有支杆(9)，支杆(9)上套设有第一压片(10)和第二压片(11)，支杆(9)上还螺纹连接有锁紧螺母(12)，所述锁紧螺母(12)分别位于第一压片(10)及第二压片(11)的上下表面。
5.根据权利要求1所述的一种热丝CVD化学气相沉积纳米金刚石涂层装置，其特征在于，还包括有定位环(13)，所述定位环(13)上开设有能够容热丝卡入的限位槽(14)。
6.根据权利要求1所述的一种热丝CVD化学气相沉积纳米金刚石涂层装置，其特征在于，所述第三热丝(6)能够穿过模具固定架(2)。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
