[实用新型]一种射频电源自动阻抗匹配装置有效
| 申请号： | 201920093815.7 | 申请日： | 2019-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN210247128U | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 张凤娟;张雪萍;阮解琼;薛坤 | 申请（专利权）人： | 云南农业大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京名华博信知识产权代理有限公司 11453 | 代理人： | 李中强 |
| 地址： | 650201 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 射频 电源 自动 阻抗匹配 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种射频电源自动阻抗匹配装置，其特征是：所述的射频电源自动阻抗匹配装置包括射频电源（1）、功率相位检测器（2）、阻抗匹配器（3）、等离子体设备（4）、控制单元（5）、电机（6）、自偏压电路（7），功率相位检测单元连接在射频电源（1）和阻抗匹配器（3）之间，阻抗匹配器（3）连有等离子体设备（4）和电机（6），控制单元（5）与电机（6）和功率相位检测器（2）相连，自偏压电路（7）连接于阻抗匹配器（3）和等离子体设备（4）之间。
2.根据权利要求1所述的一种射频电源自动阻抗匹配装置，其特征是：所述的自偏压电路（7）由电感线圈、陶瓷电压C和电压表组成，自偏压电路（7）提供反向偏压，提高电子定向能量、电子密度以及电子温度。
3.根据权利要求1所述的一种射频电源自动阻抗匹配装置，其特征是：所述的阻抗匹配器（3）采用∏型匹配网络，所述的电机（6）采用步进电机。
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