[实用新型]一种射频电源自动阻抗匹配装置

说明书

本实用新型公开了一种射频电源自动阻抗匹配装置，属于电子仪器设备领域，所述的射频电源自动阻抗匹配装置包括射频电源、功率相位检测器、阻抗匹配器、等离子体设备、控制单元、电机、自偏压电路，功率相位检测单元连接在射频电源和阻抗匹配器之间，阻抗匹配器连有等离子体设备和电机，控制单元与电机和功率相位检测器相连，自偏压电路连接于阻抗匹配器和等离子体设备之间。本实用新型通过调节负载阻抗的状态，使负载阻抗与源阻抗匹配的方法。

技术领域

本实用新型属于电子仪器设备领域，更具体的说涉及一种射频电源自动阻抗匹配装置。

背景技术

目前，射频电源自动阻抗匹配器广泛应用于工业领域，射频电源的输出阻抗与等离子体负载之间阻抗不匹配，造成射频功率的浪费。设置自动阻抗匹配器可以有效改善功率浪费。

目前匹配器产品存在的主要问题有：自动匹配时间长、工作点不稳定，会带来直流损耗。

所述急需要开发一种匹配时间较短，工作点稳定的射频电源自动阻抗匹配器。

发明内容

本实用新型的提供一种射频电源的自动阻抗匹配器，在射频电源和负载之间实现两者阻抗的自动匹配，具有可自动匹配范围大、匹配速度快，节省能耗的优点。

为了实现上述目的，本实用新型是通过以下技术方案实现的：所述的射频电源自动阻抗匹配装置包括射频电源1、功率相位检测器2、阻抗匹配器3、等离子体设备4、控制单元5、电机6、自偏压电路7，功率相位检测单元连接在射频电源1和阻抗匹配器3之间，阻抗匹配器3连有等离子体设备4和电机6，控制单元5与电机6和功率相位检测器2相连，自偏压电路7连接于阻抗匹配器3和等离子体设备4之间。

优选的，所述的自偏压电路7由电感线圈、陶瓷电压C和电压表组成，自偏压电路7提供反向偏压，提高电子定向能量、电子密度以及电子温度。

优选的，所述的阻抗匹配器3采用∏型匹配网络，所述的电机6采用步进电机。

本实用新型有益效果：

本实用新型的提供一种射频电源的自动阻抗匹配器，在射频电源和负载之间实现两者阻抗的自动匹配，具有可自动匹配范围大、匹配速度快，节省能耗的优点。

附图说明

图1，为本实用新型结构框图；

图2，为∏型匹配网络；

图3，自偏压电路；

图中，1-射频电源、2-功率相位检测器、3-阻抗匹配器、4-等离子体设备、5-控制单元、6-电机、7-自偏压电路。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例和附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属本实用新型保护范围。

如图1-3所示，所述的一种射频电源1阻抗匹配装置包括射频电源1、功率相位检测器2、阻抗匹配器3、等离子体设备4、控制单元5、电机6、自偏压电路7。功率相位检测单元连接在射频电源1和阻抗匹配器3之间，阻抗匹配器3连有等离子体设备4和电机6，等离子体设备4作为整个装置的负载。射频信号通过通过式功率计的耦合装置从传输功率中耦合出一部分功率，进行功率计度量计算。控制单元5与电机6和功率相位检测器2相连。功率相位检测器2将射频电源1输出的射频信号传送给控制单元5，调节电机6的转动，改变电容参数，进而改变匹配器的参数，进行匹配网络的调整。