[实用新型]一种圆盘定位寻边举升装置

说明书

本实用新型公开了一种圆盘定位寻边举升装置，包括：多个夹爪，用于从侧部对圆盘进行夹紧；旋转电机，固接所述夹爪，用于驱动所述夹爪转动，带动所述夹爪夹持的圆盘绕其中心旋转；检测器，用于对旋转中的所述圆盘的边部上设有的定位标记进行寻找识别，以对所述圆盘的旋转角度进行检测；举升机构，用于自下方将定位后的所述圆盘从所述夹爪上顶起。本实用新型可以保持圆盘在精确定位后举升不会出现位置精度的变化，整个装置结构紧凑，举升简单速度快，可以提高整个自动化制程的节拍，从而增加生产线的产能，为工厂带来更好的经济效益。

技术领域

本实用新型涉及半导体行业自动化制程设备技术领域，更具体地，涉及一种圆盘定位寻边举升装置。

背景技术

在半导体行业自动化制程中,经常需要对圆盘类零件进行圆周方向精确定位。定位后需要用搬运机构将圆盘搬运到下一个工位，并且在搬运后需要保证圆盘的定位精度。所以搬运之前需要将圆盘保持一个固定的状态。如果圆盘被定位并用夹爪夹住，再由搬运机构直接下来搬运，就有可能出现夹爪和搬运机构相互干涉的情况。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种圆盘定位寻边举升装置。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种圆盘定位寻边举升装置，包括：

多个夹爪，用于从侧部对圆盘进行夹紧；

旋转电机，固接所述夹爪，用于驱动所述夹爪转动，带动所述夹爪夹持的圆盘绕其中心旋转；

检测器，用于对旋转中的所述圆盘的边部上设有的定位标记进行寻找识别，以对所述圆盘的旋转角度进行检测；

举升机构，用于自下方将定位后的所述圆盘从所述夹爪上顶起。

进一步地，所述旋转电机通过齿轮传动机构与一减速机直接转动连接，所述减速机固接所述夹爪。

进一步地，所述减速机为中空法兰式减速机，所述举升机构穿过所述减速机的中空腔体设置。

进一步地，所述举升机构包括一驱动单元，所述驱动单元的上端连接一吸盘，所述吸盘位于所述夹爪之间的所述圆盘的下方。

进一步地，所述驱动单元为第一气缸，所述第一气缸通过其活塞杆的上端连接所述吸盘。

进一步地，所述夹爪为气动夹爪，所述气动夹爪连接第二气缸。

进一步地，所述减速机、旋转电机和举升机构安装在一底座上；所述底座上设有支架，所述检测器设于支架上。

进一步地，所述检测器为激光传感器。

进一步地，所述电机为伺服电机。

从上述技术方案可以看出，本实用新型的电机与减速机、气爪通过直接连接的方式来进行传动，避免了以往使用同步带传动所产生的粉尘问题，可以满足在洁净的环境下对圆盘进行定位。由于整个传动过程中采用了刚性连接，能够得到更高的角度定位精度。圆盘通过电机和气爪精确定位后，再由吸盘将圆盘吸住，气缸举升吸盘让其脱离夹爪，可以保持圆盘在精确定位后举升不会出现位置精度的变化。整个装置结构紧凑，可以安装在自动化生产线上实现一个圆盘精确定位及举升功能，也可以单独作为一个设备。整个回转机构是伺服电机带动激光传感器检测，可以达到高精度圆周定位的效果，在定位后吸盘直接将圆盘吸住，再由气缸举升到位。整个定位举升过程中圆盘一直处于紧固状态，整个定位举升结构简单速度快，可以提高整个自动化制程的节拍，从而增加生产线的产能，为工厂带来更好的经济效益。

附图说明

图1-图3是本实用新型一较佳实施例的一种圆盘定位寻边举升装置结构示意图。

具体实施方式