[实用新型]一种晶圆倒片机中盘的气密性检测装置有效
| 申请号： | 201920116719.X | 申请日： | 2019-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN209280219U | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 徐韦明 | 申请（专利权）人： | 上海福赛特机器人有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龙;张磊 |
| 地址： | 200233 上海市徐汇区虹梅*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 密封机构 盘盖 密封圈 气密性检测装置 本实用新型 预设位置 倒片机 种晶 产品合格率 定位精度高 劳动力成本 垂直升降 生产效率 升降机构 洁净度 密封性 气密性 扣住 检测 | ||
1.一种晶圆倒片机中盘的气密性检测装置，其特征在于，包括：
密封机构，其设有密封圈，当所述密封机构由初始位置下降到预设位置时，所述密封圈用于扣住盘盖外径，以对所述盘盖及置于所述盘盖中的盘的气密性进行检测；
升降机构，用于带动所述密封机构在预设位置和初始位置之间垂直升降。
2.根据权利要求1所述的晶圆倒片机中盘的气密性检测装置，其特征在于，所述密封圈具有与所述盘盖外径结构对应的内壁结构。
3.根据权利要求1所述的晶圆倒片机中盘的气密性检测装置，其特征在于，所述密封圈为弹性橡胶密封圈。
4.根据权利要求1所述的晶圆倒片机中盘的气密性检测装置，其特征在于，所述升降机构为一电缸。
5.根据权利要求4所述的晶圆倒片机中盘的气密性检测装置，其特征在于，所述电缸设有缸体，所述缸体中设有丝杆，所述丝杆连接设于缸体一端的电机，所述丝杆上耦合有螺母，所述螺母通过滑块连接所述缸体上设有的滑轨，所述滑块连接所述密封机构。
6.根据权利要求5所述的晶圆倒片机中盘的气密性检测装置，其特征在于，所述滑块通过第一支架与所述密封机构的上端相连接。
7.根据权利要求5所述的晶圆倒片机中盘的气密性检测装置，其特征在于，所述缸体安装设于第二支架上。
8.根据权利要求1所述的晶圆倒片机中盘的气密性检测装置，其特征在于，所述盘盖安装设于定位工装上。
9.根据权利要求8所述的晶圆倒片机中盘的气密性检测装置，其特征在于，所述定位工装设有多个用于固定所述盘盖的定位块。
10.根据权利要求5所述的晶圆倒片机中盘的气密性检测装置，其特征在于，所述电机为伺服电机。
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