[实用新型]一种用于处理半导体矽晶片的晶片夹有效

专利信息
申请号: 201920120375.X 申请日: 2019-01-24
公开(公告)号: CN209461438U 公开(公告)日: 2019-10-01
发明(设计)人: 李翔 申请(专利权)人: 佛山市南海益晶科技有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687
代理公司: 武汉明正专利代理事务所(普通合伙) 42241 代理人: 张伶俐
地址: 528000 广东省佛山*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 夹臂 滑槽 夹头 滑柱 夹体 一体成型 晶片夹 矽晶片 半导体 本实用新型 螺帽 调整夹具 夹持晶片 受力部位 滑动 弹性的 调整夹 可滑动 操控 受力
【说明书】:

本实用新型涉及一种用于处理半导体矽晶片的晶片夹,包括夹体,所述夹体一端设有第一夹臂,所述夹体的另一端设有第二夹臂,所述第一夹臂的末端设有第一夹头,所述第二夹臂的末端设有第二夹头,所述第一夹臂与第一夹头一体成型,所述第二夹臂与第二夹头一体成型;所述第一夹臂上设有第一滑槽,所述第二夹臂上设有第二滑槽,所述第一夹臂和第二夹臂为具有弹性的夹臂;所述第一滑槽与第二滑槽之间设有滑柱,所述滑柱可沿第一滑槽和第二滑槽滑动。其优点是:滑柱安装在夹臂上可滑动,以调整夹臂的受力部位并控制受力大小,从而降低对夹头的控制精确度及夹持晶片的操控难度,提高安全性;滑柱上设有螺帽,能够根据需要调整夹具内侧间距的大小。

技术领域

本实用新型涉及一种夹具,特别涉及一种用于处理半导体矽晶片的晶片夹。

背景技术

芯片的生产制造以及运输的过程中需要用到夹具,但是,现有的夹具长时间使用,上夹板和下夹板之间在旋转错开时发生偏移,夹具不能将芯片夹紧,这样容易损坏芯片。

目前夹取半导体晶片常用的主要有两种方式,一种是用普通的镊子,另一种是真空负压吸取。普通镊子利用其两夹头夹住晶片的正反两面完成夹片操作;真空吸取的吸盘是用橡胶制成,使用时真空负压吸盘吸住晶片表面,借助真空负压吸力将晶片吸住并保持。目前夹具对夹头的控制精确度比较低,要求所有的夹头同时施力于晶片侧边缘才能完成夹持操作,因而操作难度较大、工作效率低;真空吸附式夹具则其吸盘不可以发生形变或有赃物,若吸盘易发生形变或有赃物,则导致漏气无法完成夹片操作,夹持操作失灵。

发明内容

为了解决现有技术的不足,本实用新型提供一种用于处理半导体矽晶片的晶片夹。

一种用于处理半导体矽晶片的晶片夹,包括夹体,所述夹体一端设有第一夹臂,所述夹体的另一端设有第二夹臂,所述第一夹臂的末端设有第一夹头,所述第二夹臂的末端设有第二夹头,所述第一夹臂与第一夹头一体成型,所述第二夹臂与第二夹头一体成型;所述第一夹臂上设有第一滑槽,所述第二夹臂上设有第二滑槽,所述第一夹臂和第二夹臂为具有弹性的夹臂;所述第一滑槽与第二滑槽之间设有滑柱,所述滑柱可沿第一滑槽和第二滑槽滑动。

所述第一夹头的截面为梯形,所述第一夹头的下端设有第一垫片。

所述第二夹头的截面为梯形,所述第二夹头的下端设有第二垫片。

所述滑柱上设有弹簧。

所述第一夹臂或第二夹臂的材质为铁质、碳素、不锈钢、塑胶或铝合金。

所述滑柱的上端设有螺帽。

本实用新型所述的一种用于处理半导体矽晶片的晶片夹,其有益效果是:

(1)滑柱安装在夹臂上可滑动,以调整夹臂的受力部位并控制受力的大小,从而降低对夹头的控制精确度的要求及夹持晶片的操控难度,提高安全性;

(2)夹臂的内侧设有垫片,可根据夹具的使用环境,其材质可选用铁质、碳素、不锈钢、塑胶、铝合金以及其他复合型材料,在高温或常温均可使用;

(3)滑柱上设有螺帽,能够根据需要调整夹具内侧间距的大小。

附图说明

图1是本实用新型的一种用于处理半导体矽晶片的晶片夹的结构示意图;

图2是本实用新型的晶片夹使用的状态示意图;

图3是本实用新型的晶片夹的俯视图。

图中标号说明:

1.夹体,2.第一夹臂,3.第二夹臂,4.第一夹头,5.第二夹头,6.第一滑槽,7.第二滑槽,8.滑柱,9.第一垫片,10.第二垫片,11.弹簧,12.螺帽。

具体实施方式

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