[实用新型]一种用于处理半导体矽晶片的晶片夹有效
申请号: | 201920120375.X | 申请日: | 2019-01-24 |
公开(公告)号: | CN209461438U | 公开(公告)日: | 2019-10-01 |
发明(设计)人: | 李翔 | 申请(专利权)人: | 佛山市南海益晶科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 武汉明正专利代理事务所(普通合伙) 42241 | 代理人: | 张伶俐 |
地址: | 528000 广东省佛山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 夹臂 滑槽 夹头 滑柱 夹体 一体成型 晶片夹 矽晶片 半导体 本实用新型 螺帽 调整夹具 夹持晶片 受力部位 滑动 弹性的 调整夹 可滑动 操控 受力 | ||
本实用新型涉及一种用于处理半导体矽晶片的晶片夹,包括夹体,所述夹体一端设有第一夹臂,所述夹体的另一端设有第二夹臂,所述第一夹臂的末端设有第一夹头,所述第二夹臂的末端设有第二夹头,所述第一夹臂与第一夹头一体成型,所述第二夹臂与第二夹头一体成型;所述第一夹臂上设有第一滑槽,所述第二夹臂上设有第二滑槽,所述第一夹臂和第二夹臂为具有弹性的夹臂;所述第一滑槽与第二滑槽之间设有滑柱,所述滑柱可沿第一滑槽和第二滑槽滑动。其优点是:滑柱安装在夹臂上可滑动,以调整夹臂的受力部位并控制受力大小,从而降低对夹头的控制精确度及夹持晶片的操控难度,提高安全性;滑柱上设有螺帽,能够根据需要调整夹具内侧间距的大小。
技术领域
本实用新型涉及一种夹具,特别涉及一种用于处理半导体矽晶片的晶片夹。
背景技术
芯片的生产制造以及运输的过程中需要用到夹具,但是,现有的夹具长时间使用,上夹板和下夹板之间在旋转错开时发生偏移,夹具不能将芯片夹紧,这样容易损坏芯片。
目前夹取半导体晶片常用的主要有两种方式,一种是用普通的镊子,另一种是真空负压吸取。普通镊子利用其两夹头夹住晶片的正反两面完成夹片操作;真空吸取的吸盘是用橡胶制成,使用时真空负压吸盘吸住晶片表面,借助真空负压吸力将晶片吸住并保持。目前夹具对夹头的控制精确度比较低,要求所有的夹头同时施力于晶片侧边缘才能完成夹持操作,因而操作难度较大、工作效率低;真空吸附式夹具则其吸盘不可以发生形变或有赃物,若吸盘易发生形变或有赃物,则导致漏气无法完成夹片操作,夹持操作失灵。
发明内容
为了解决现有技术的不足,本实用新型提供一种用于处理半导体矽晶片的晶片夹。
一种用于处理半导体矽晶片的晶片夹,包括夹体,所述夹体一端设有第一夹臂,所述夹体的另一端设有第二夹臂,所述第一夹臂的末端设有第一夹头,所述第二夹臂的末端设有第二夹头,所述第一夹臂与第一夹头一体成型,所述第二夹臂与第二夹头一体成型;所述第一夹臂上设有第一滑槽,所述第二夹臂上设有第二滑槽,所述第一夹臂和第二夹臂为具有弹性的夹臂;所述第一滑槽与第二滑槽之间设有滑柱,所述滑柱可沿第一滑槽和第二滑槽滑动。
所述第一夹头的截面为梯形,所述第一夹头的下端设有第一垫片。
所述第二夹头的截面为梯形,所述第二夹头的下端设有第二垫片。
所述滑柱上设有弹簧。
所述第一夹臂或第二夹臂的材质为铁质、碳素、不锈钢、塑胶或铝合金。
所述滑柱的上端设有螺帽。
本实用新型所述的一种用于处理半导体矽晶片的晶片夹,其有益效果是:
(1)滑柱安装在夹臂上可滑动,以调整夹臂的受力部位并控制受力的大小,从而降低对夹头的控制精确度的要求及夹持晶片的操控难度,提高安全性;
(2)夹臂的内侧设有垫片,可根据夹具的使用环境,其材质可选用铁质、碳素、不锈钢、塑胶、铝合金以及其他复合型材料,在高温或常温均可使用;
(3)滑柱上设有螺帽,能够根据需要调整夹具内侧间距的大小。
附图说明
图1是本实用新型的一种用于处理半导体矽晶片的晶片夹的结构示意图;
图2是本实用新型的晶片夹使用的状态示意图;
图3是本实用新型的晶片夹的俯视图。
图中标号说明:
1.夹体,2.第一夹臂,3.第二夹臂,4.第一夹头,5.第二夹头,6.第一滑槽,7.第二滑槽,8.滑柱,9.第一垫片,10.第二垫片,11.弹簧,12.螺帽。
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造