[实用新型]一种多工位的真空排气台

权利要求书

1.一种多工位的真空排气台，包括相联通的离子泵(1)以及真空室(4)，还包括若干个单向阀(9)以及真空压力计(8)，其特征在于：所述真空室(4)联通有至少两根连接管(53)，所述连接管(53)背离真空室(4)的一端设置有用于连接的法兰。

2.根据权利要求1所述的一种多工位的真空排气台，其特征在于：所述连接管(53)与所述真空室(4)之间连接有导管(51)，连接管(53)连接于导管(51)的侧壁；导管(51)背离真空室(4)的一端封闭形成封闭部(511)，在封闭部(511)处设置有用于封堵导管(51)的封堵系统(6)。

3.根据权利要求2所述的一种多工位的真空排气台，其特征在于：所述封堵系统(6)包括位于导管(51)内的内凸缘(61)、能够封堵内凸缘(61)的封盖件(62)以及与推动封盖件(62)沿导管(51)的轴向移动推杆(63)；内凸缘(61)位于真空室(4)与所述连接管(53)之间的导管(51)的管壁上，封盖件(62)位于内凸缘(61)背离真空室(4)的一侧，推杆(63)位于封盖件(62)背离内凸缘(61)的一端并于封盖件(62)固定相连，推杆(63)垂直贯穿封闭部(511)的两端并且与封闭部(511)密封滑动连接，在导管(51)内还设置有能够限制封盖件(62)向内凸缘(61)移动的限位组件(65)。

4.根据权利要求3所述的一种多工位的真空排气台，其特征在于：所述封盖件(62)呈内部中空的半球体，位于封盖件(62)以及内凸缘(61)之间设置有密封垫（66）。

5.根据权利要求4所述的一种多工位的真空排气台，其特征在于：所述封盖件(62)的开口边缘设置有向外的翻边(621)，所述翻边(621)的直径与所述导管(51)的管径一致。

6.根据权利要求5所述的一种多工位的真空排气台，其特征在于：所述密封垫（66）呈环形，密封垫（66）的内径与内凸缘(61)的直径一致；密封垫（66）的外径与导管(51)的管径一致。

7.根据权利要求3所述的一种多工位的真空排气台，其特征在于：所述限位组件(65)包括限位件一(651)以及限位件二(652)，所述限位件一(651)呈“L”形，包括垂直于所述封闭部(511)的垂直部(6511)以及平行于所述封闭部(511)的平行部，垂直部(6511)与封闭部(511)固定相连，限位件二(652)固定于所述封盖件(62)朝向封闭部(511)的端面上，在限位件二(652)上开设有供平行部插入的插口。

8.根据权利要求3所述的一种多工位的真空排气台，其特征在于：所述推杆(63)伸出所述导管(51)的一端设置有方便把持的把手(64)。