[实用新型]一种多工位的真空排气台

说明书

本实用新型公开一种多工位的真空排气台，涉及排气台的技术领域，其包括相联通的离子泵以及真空室，还包括若干个单向阀以及真空压力计，所述真空室联通有至少两根连接管，所述连接管背离真空室的一端设置有用于连接的法兰。本实用新型具有能够对多个工位同时抽真空的效果。

技术领域

本实用新型涉及排气台的技术领域，尤其是涉及一种多工位的真空排气台。

背景技术

真空排气台是一种用于抽气系统，离子泵是其核心部件。对于使用环境的不同，在真空排气台上还会设置有多种形式的导管或者是置物室，能够制造出真空环境。

在现代先进的实验室中，通常设置有多个需要真空环境的工位。但是现有的真空排气台通常是一对一的进行抽真空工作，当多个工位同时需要真空环境时，无法满足要求。一对一的配置真空排气台不仅会造成资源的浪费，而且还会使离子泵的性能过剩。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种多工位的真空排气台，其具有能够对多个工位同时抽真空的效果。

本实用新型的上述目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种多工位的真空排气台，包括相联通的离子泵以及真空室，还包括若干个单向阀以及真空压力计，所述真空室联通有至少两根连接管，所述连接管背离真空室的一端设置有用于连接的法兰。

通过采用上述技术方案，真空室可以同时联通多个需要真空环境的工位。

本实用新型进一步设置为：所述连接管与所述真空室之间连接有导管，连接管连接于导管的侧壁；导管背离真空室的一端封闭形成封闭部，在封闭部处设置有用于封堵导管的封堵系统。

通过采用上述技术方案，封堵系统可以控制导管的启闭，进而控制导管联通的数量，以匹配不同数量的工位需求。具有更好的操作性，更加节能。

本实用新型进一步设置为：所述封堵系统包括位于导管内的内凸缘、能够封堵内凸缘的封盖件以及与推动封盖件沿导管的轴向移动推杆；内凸缘位于真空室与所述连接管之间的导管的管壁上，封盖件位于内凸缘背离真空室的一侧，推杆位于封盖件背离内凸缘的一端并于封盖件固定相连，推杆垂直贯穿封闭部的两端并且与封闭部密封滑动连接，在导管内还设置有能够限制封盖件向内凸缘移动的限位组件。

通过采用上述技术方案，当开启导管时，拉动拉杆使封盖件向封闭部一侧移动并使用限位组件对封盖件限位，保证导管的通常；当关闭导管时，使封盖件向内凸缘一侧移动，在负压的吸力下，封盖件自然压紧在内凸缘上。

本实用新型进一步设置为：所述封盖件呈内部中空的半球体，位于封盖件以及内凸缘之间设置有密封垫。

通过采用上述技术方案，半球体具有较好的抗压能力，当离子泵工作而使真空室内具有交底的压强时，半球体的封盖件具有更好的使用性能。

本实用新型进一步设置为：所述封盖件的开口边缘设置有向外的翻边，所述翻边的直径与所述导管的管径一致。

通过采用上述技术方案，相对的面积越大，密封的效果越好。

本实用新型进一步设置为：所述密封垫呈环形，密封垫的内径与内凸缘的直径一致；密封垫的外径与导管的管径一致。

通过采用上述技术方案，密封垫与内凸缘接触的部分起到密封作用，故最大化密封垫与内凸缘的接触面积，起到最好的密封效果，并不使材料浪费。

本实用新型进一步设置为：所述限位组件包括限位件一以及限位件二，所述限位件一呈“L”形，包括垂直于所述封闭部的垂直部以及平行于所述封闭部的平行部，垂直部与封闭部固定相连，限位件二固定于所述封盖件朝向封闭部的端面上，在限位件二上开设有供平行部插入的插口。